ويڪيوم آئن ڪوٽنگ (جنهن کي آئن پليٽنگ چيو ويندو آهي) آمريڪا ۾ 1963 ۾ سومڊيا ڪمپني ڊي ايم ميٽوڪس تجويز ڪئي هئي، 1970 جو ڏهاڪو هڪ نئين مٿاڇري جي علاج جي ٽيڪنالاجي جي تيز ترقي هئي. اهو ويڪيوم ماحول ۾ بخارات جي ذريعن يا اسپٽرنگ ٽارگيٽ جي استعمال جو حوالو ڏئي ٿو ته جيئن فلم مواد بخارات يا اسپٽرنگ، بخارات يا اسپٽرنگ گئس خارج ٿيڻ واري جاءِ ۾ ذرڙن جي هڪ حصي مان ڌاتو آئن ۾ آئن ٿي وڃي.
اهي ذرڙا برقي ميدان جي عمل هيٺ سبسٽريٽ تي جمع ڪيا ويندا آهن ته جيئن هڪ پتلي فلم جو عمل پيدا ٿئي.
ڪيترن ئي قسمن جي ويڪيوم آئن پليٽنگ، عام طور تي جھلي جي مواد جي مطابق آئن ذريعو پيدا ڪرڻ لاءِ ٻن قسمن ۾ ورهايل هوندي: بخارات ذريعو قسم آئن پليٽنگ ۽ اسپٽرنگ ٽارگيٽ قسم آئن پليٽنگ. اڳئين کي فلم مواد کي گرم ڪرڻ سان بخارات بڻايو ويندو آهي ته جيئن ڌاتو بخارات پيدا ٿين، ته جيئن اهو جزوي طور تي ڌاتو بخارات ۽ گئس ڊسچارج پلازما جي خلا ۾ اعلي توانائي غير جانبدار ايٽم ۾ آئنائيز ٿئي، برقي ميدان جي ڪردار ذريعي پتلي فلمون پيدا ڪرڻ لاءِ سبسٽريٽ تائين پهچڻ لاءِ؛ بعد ۾ فلم مواد جي بمباري جي مٿاڇري تي اعلي توانائي آئن (مثال طور، Ar +) جو استعمال آهي ته جيئن ذرڙن مان اسپٽرنگ کي گئس ڊسچارج جي خلا ذريعي آئن يا اعلي توانائي غير جانبدار ايٽم ۾ آئنائيز ڪيو وڃي، سبسٽريٽ جي مٿاڇري تائين پهچڻ ۽ فلم پيدا ڪرڻ لاءِ.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: مارچ-07-2024