آئن بيم جمع ڪرڻ جي ٽيڪنالاجي

① آئن بيم جي مدد سان جمع ٿيندڙ ٽيڪنالاجي فلم ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ مضبوط چپکڻ جي خاصيت رکي ٿي، فلم جي پرت تمام مضبوط آهي. تجربن مان ظاهر ٿيو آهي ته: آئن بيم جي مدد سان جمع ٿيندڙ چپکڻ جي مقدار حرارتي بخارات جي جمع ٿيڻ جي ڀيٽ ۾ ڪيترائي ڀيرا وڌي وئي آهي، ان جو سبب بنيادي طور تي صفائي جي اثر جي مٿاڇري تي آئن بمباري آهي، ته جيئن جھلي جو بنياد انٽرفيس هڪ گريڊينٽ انٽرفيشل ڍانچي، يا هائبرڊ منتقلي پرت ٺاهي، انهي سان گڏ جھلي جي دٻاءُ کي گهٽائڻ لاءِ.

② آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ فلم جي مشيني خاصيتن کي بهتر بڻائي سگھي ٿو، ٿڪائي جي زندگي کي وڌائي سگھي ٿو، آڪسائيڊ، ڪاربائڊ، ڪيوبڪ BN، TiB: ۽ هيرن جهڙي ڪوٽنگ جي تياري لاءِ تمام مناسب آهي. مثال طور، 1Crl8Ni9Ti گرمي مزاحمتي اسٽيل ۾ آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي جي استعمال تي 200nm SiN، پتلي فلم کي وڌائڻ لاءِ، نه رڳو مواد جي مٿاڇري تي ٿڪائي جي دراڙن جي ظاهر ٿيڻ کي روڪي سگھي ٿو، پر ٿڪائي جي دراڙ جي پکيڙ جي شرح کي به گهٽائي سگھي ٿو، ان جي زندگي کي وڌائڻ لاءِ هڪ سٺو ڪردار ادا ڪري ٿو.

③ آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ سان فلم جي دٻاءُ جي نوعيت ۽ ان جي ڪرسٽل جي جوڙجڪ ۾ تبديلي اچي سگهي ٿي. مثال طور، 11.5keV Xe + يا سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي Ar + بمباري سان Cr فلم جي تياري، اهو معلوم ٿيو ته سبسٽريٽ جي درجه حرارت، بمباري آئن توانائي، آئن ۽ ايٽم جي آمد جي تناسب ۽ ٻين پيرا ميٽرز جي ترتيب، ٽينسل کان ڪمپريسيو دٻاءُ تائين دٻاءُ کي وڌائي سگھي ٿي، فلم جي ڪرسٽل structure پڻ تبديليون پيدا ڪندي. آئن ۽ ايٽم جي هڪ خاص تناسب جي تحت، آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ ۾ تھرمل وانپ جمع ڪرڻ ذريعي جمع ٿيل جھلي جي پرت کان بهتر چونڊ رخ هوندو آهي.

④ آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ جھلي جي سنکنرن جي مزاحمت ۽ آڪسائيڊشن جي مزاحمت کي وڌائي سگھي ٿو. جيئن ته جھلي جي پرت جي آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ گھڻ آهي، جھلي جي بنياد جي انٽرفيس جي جوڙجڪ ۾ بهتري يا ذرڙن جي وچ ۾ اناج جي حد جي غائب ٿيڻ جي ڪري بي شڪل حالت جي ٺهڻ، جيڪا مواد جي سنکنرن جي مزاحمت ۽ آڪسائيڊشن مزاحمت کي وڌائڻ لاءِ سازگار آهي.

مواد جي سنکنرن جي مزاحمت کي وڌايو ۽ تيز گرمي پد جي آڪسائيڊنگ اثر جي مزاحمت ڪريو.

(5) آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ فلم جي برقي مقناطيسي خاصيتن کي تبديل ڪري سگهي ٿو ۽ آپٽيڪل پتلي فلمن جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگهي ٿو. (6) آئن جي مدد سان جمع ڪرڻ گهٽ درجه حرارت تي مختلف پتلي فلمن جي واڌ جي اجازت ڏئي ٿو ۽ مواد يا درست حصن تي خراب اثرن کان بچي ٿو جيڪي اعلي درجه حرارت تي علاج جي ڪري ٿيندا، ڇاڪاڻ ته ايٽمي جمع ڪرڻ ۽ آئن امپلانٽيشن سان لاڳاپيل پيرا ميٽرز کي صحيح ۽ آزاديءَ سان ترتيب ڏئي سگهجي ٿو، ۽ مسلسل ساخت سان ڪجهه مائڪرو ميٽرن جي ڪوٽنگ کي گهٽ بمباري توانائي تي مسلسل پيدا ڪري سگهجي ٿو.