По сравнению с осаждением испарением и распылением, наиболее важной особенностью ионного осаждения является то, что энергичные ионы бомбардируют подложку и слой пленки во время осаждения. Бомбардировка заряженными ионами производит ряд эффектов, в основном следующим образом.
① Сила связи мембраны / основания (адгезия) сильная, слой пленки нелегко отваливается из-за ионной бомбардировки подложки, создаваемой эффектом распыления, так что подложка очищается, активируется и нагревается, не только для удаления адсорбции газа на поверхности подложки и загрязненного слоя, но и для удаления поверхностных оксидов подложки. Ионная бомбардировка нагрева и дефектов может быть вызвана усиленным диффузионным эффектом подложки, как для улучшения кристаллических свойств организации поверхностного слоя подложки, так и для обеспечения условий для образования фаз сплава; и более высокая энергия ионной бомбардировки, но также производит определенное количество ионной имплантации и эффект смешивания ионного пучка.
② Ионное покрытие, благодаря созданию хорошего обходного излучения в случае более высокого давления (больше или равного 1 Па), ионизирует ионы или молекулы пара на своем пути к подложке, прежде чем молекулы газа столкнутся с рядом столкновений, поэтому частицы пленки могут быть рассеяны по подложке, тем самым улучшая покрытие слоя пленки; а ионизированные частицы пленки также будут осаждаться под действием электрического поля на поверхности подложки с отрицательным напряжением в любом месте на поверхности подложки с отрицательным напряжением, чего нельзя достичь методом напыления.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 12 января 2024 г.