د تبخیر پلیټینګ او سپټرینګ پلیټینګ په پرتله، د ایون پلیټینګ ترټولو مهمه ځانګړتیا دا ده چې انرژي لرونکي ایونونه د سبسټریټ او فلم طبقې بمباري کوي پداسې حال کې چې زیرمه کیږي. د چارج شوي ایونونو بمباري د اغیزو لړۍ رامینځته کوي، په عمده توګه په لاندې ډول.
① د غشا / اساس د تړلو ځواک (اډیشن) قوي دی، د فلم طبقه د سبسټریټ د ایون بمبارۍ له امله د سپټرینګ اغیزې لخوا رامینځته شوي له مینځه وړل اسانه ندي، نو سبسټریټ پاک، فعال او تودوخه کیږي، نه یوازې د سبسټریټ او ککړ شوي پرت په سطحه د ګاز جذب لرې کولو لپاره، بلکه د سبسټریټ آکسایډونو سطحه لرې کولو لپاره هم. د تودوخې او نیمګړتیاوو د ایون بمبارۍ د سبسټریټ د زیات شوي خپریدو اغیزې له امله رامینځته کیدی شي، دواړه د سبسټریټ سطحې پرت تنظیم د کرسټالین ملکیتونو ښه کولو لپاره، مګر د الیاژ مرحلو جوړولو لپاره شرایط هم چمتو کوي؛ او د لوړې انرژۍ ایون بمبارۍ، مګر د آیون امپلانټیشن او د آیون بیم مخلوط کولو اغیزې یو ټاکلی مقدار هم تولیدوي.
② د ایون پوښښ د لوړ فشار (د 1Pa څخه ډیر یا مساوي) په حالت کې د ښه بای پاس وړانګو تولید له امله د ایون شوي بخار ایونونه یا مالیکولونه د سبسټریټ ته د سفر په جریان کې دي مخکې لدې چې د ګاز مالیکولونه د یو شمیر ټکرونو سره مخ شي، نو د فلم ذرات د سبسټریټ شاوخوا خپاره کیدی شي، پدې توګه د فلم طبقې پوښښ ښه کوي؛ او د ایون شوي فلم ذرات به هم د منفي ولتاژ سره د سبسټریټ په سطحه د بریښنایی ساحې د عمل لاندې زیرمه شي د منفي ولتاژ سره د سبسټریټ په سطحه هر موقعیت، کوم چې د تبخیر پلیټینګ لخوا نشي ترلاسه کیدی.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: جنوري-۱۲-۲۰۲۴