د ایون بیم د زیرمه کولو ټیکنالوژي

① د ایون بیم په مرسته د جمع کولو ټیکنالوژي د فلم او سبسټریټ ترمنځ د قوي چپکولو لخوا مشخص شوې، د فلم طبقه خورا قوي ده. تجربو ښودلې چې: د ایون بیم په مرسته د چپکولو جمع کول د حرارتي بخار جمع کولو چپکولو په پرتله څو ځله څخه سلګونو ځله زیات شوي، دلیل یې په عمده توګه د پاکولو اغیزې په سطحه د ایون بمبارۍ له امله دی، ترڅو د غشا اساس انٹرفیس د تدریجي انټرفیشیل جوړښت، یا هایبرډ لیږد طبقه، او همدارنګه د غشا فشار کم کړي.

② د ایون بیم په مرسته جمع کول کولی شي د فلم میخانیکي ملکیتونه ښه کړي، د ستړیا ژوند اوږد کړي، د اکسایډونو، کاربایډونو، مکعب BN، TiB: او الماس په څیر پوښونو چمتو کولو لپاره خورا مناسب دی. د مثال په توګه، په 1Crl8Ni9Ti کې د تودوخې مقاومت لرونکي فولادو کې د 200nm SiN، پتلی فلم وده کولو لپاره د آیون بیم په مرسته جمع کولو ټیکنالوژۍ کارولو سره، نه یوازې د موادو په سطحه د ستړیا درزونو رامینځته کیدو مخه نیولی شي، بلکه کولی شي د ستړیا درز خپریدو کچه هم د پام وړ کمه کړي، د هغې د ژوند اوږدولو لپاره ښه رول لري.

③ د آیون بیم په مرسته جمع کول کولی شي د فلم فشار طبیعت بدل کړي او د هغې کرسټالین جوړښت بدل کړي. د مثال په توګه، د سبسټریټ سطحې د 11.5keV Xe + یا Ar + بمبارۍ سره د Cr فلم چمتو کول، وموندله چې د سبسټریټ تودوخې تنظیم کول، د بمبارۍ ایون انرژي، د ایون او اتوم رسیدو تناسب او نور پیرامیټرونه کولی شي فشار له تناسلي څخه تر کمپرسی فشار پورې کړي، د فلم کرسټال جوړښت به هم بدلونونه رامینځته کړي. د ایونونو او اتومونو د یو ټاکلي تناسب لاندې، د ایون بیم په مرسته جمع کول د تودوخې بخار جمع کولو لخوا جمع شوي غشا طبقې په پرتله غوره انتخابي سمت لري.

④ د ایون بیم په مرسته جمع کول کولی شي د غشا د زنګ مقاومت او اکسیډیشن مقاومت ته وده ورکړي. څرنګه چې د غشا طبقې د ایون بیم په مرسته جمع کول کثافت لري، د غشا اساس انٹرفیس جوړښت ښه کیږي یا د ذراتو ترمنځ د غلې دانې د حد له ورکیدو له امله د بې شکل حالت رامینځته کیږي، کوم چې د موادو د زنګ مقاومت او اکسیډیشن مقاومت لوړولو لپاره مناسب دی.

د موادو د زنګ وهلو مقاومت لوړ کړئ او د لوړې تودوخې د اکسیډیز کولو اغیزې سره مقاومت وکړئ.

(۵) د ایون بیم په مرسته جمع کول کولی شي د فلم الکترومقناطیسي ځانګړتیاوې بدلې کړي او د نظري پتلو فلمونو فعالیت ښه کړي. (۶) د ایون په مرسته جمع کول په ټیټه تودوخه کې د مختلفو پتلو فلمونو ودې ته اجازه ورکوي او په موادو یا دقیق برخو باندې د منفي اغیزو څخه مخنیوی کوي چې د لوړې تودوخې درملنې له امله رامینځته کیږي، ځکه چې د اټومي جمع کولو او ایون امپلانټیشن پورې اړوند پیرامیټرونه په سمه او خپلواکه توګه تنظیم کیدی شي، او د یو څو مایکرومیټرونو پوښونه د دوامداره جوړښت سره په دوامداره توګه په ټیټ بمبارۍ انرژي کې تولید کیدی شي.