① Technologia osadzania wspomaganego wiązką jonów charakteryzuje się silną przyczepnością między filmem a podłożem, warstwa filmu jest bardzo mocna. Eksperymenty wykazały, że: osadzanie wspomagane wiązką jonów przyczepności niż przyczepność osadzania termicznego z fazy gazowej wzrosła kilkakrotnie do setek razy, powodem jest głównie bombardowanie jonami na powierzchni efektu czyszczenia, tak aby interfejs podstawy membrany tworzył gradientową strukturę interfejsu lub hybrydową warstwę przejściową, a także zmniejszał naprężenia membrany.
② Osadzanie wspomagane wiązką jonów może poprawić właściwości mechaniczne filmu, wydłużyć trwałość zmęczeniową, bardzo odpowiednie do przygotowywania tlenków, węglików, sześciennych BN, TiB: i powłok diamentopodobnych. Na przykład w stali żaroodpornej 1Crl8Ni9Ti przy użyciu technologii osadzania wspomaganego wiązką jonów w celu wyhodowania 200 nm SiN, cienkiej warstwy, nie tylko może zahamować pojawianie się pęknięć zmęczeniowych na powierzchni materiału, ale także może znacznie zmniejszyć szybkość dyfuzji pęknięć zmęczeniowych, aby wydłużyć jego żywotność, ma dobrą rolę.
③ Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zmienić charakter naprężeń w warstwie i zmiany jej struktury krystalicznej. Na przykład przygotowanie warstwy Cr z bombardowaniem powierzchni podłoża 11,5 keV Xe + lub Ar + wykazało, że dostosowanie temperatury podłoża, energii jonów bombardowania, współczynnika przybycia jonów i atomów oraz innych parametrów może zmienić naprężenie z rozciągającego na ściskające, struktura krystaliczna warstwy również będzie powodować zmiany. Przy pewnym stosunku jonów do atomów osadzanie wspomagane wiązką jonów ma lepszą selektywną orientację niż warstwa membrany osadzona metodą termicznego osadzania z fazy gazowej.
④ Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zwiększyć odporność na korozję i utlenianie membrany. Ponieważ osadzanie wspomagane wiązką jonów warstwy membrany jest gęste, struktura interfejsu podstawy membrany ulega poprawie lub powstaje stan amorficzny spowodowany zanikiem granicy ziaren między cząstkami, co sprzyja zwiększeniu odporności na korozję i utlenianie materiału.
Zwiększa odporność materiału na korozję i przeciwdziała utleniającemu działaniu wysokiej temperatury.
(5) Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zmieniać właściwości elektromagnetyczne warstwy i poprawiać parametry optycznych cienkich warstw. (6) Osadzanie wspomagane jonami umożliwia wzrost różnych cienkich warstw w niskich temperaturach i zapobiega niekorzystnym skutkom dla materiałów lub precyzyjnych części, które mogłyby powstać w wyniku obróbki w wysokich temperaturach, ponieważ parametry związane z osadzaniem atomowym i implantacją jonów można regulować dokładnie i niezależnie, a powłoki o grubości kilku mikrometrów o stałym składzie można wytwarzać w sposób ciągły przy niskich energiach bombardowania.
Czas publikacji: 07-03-2024