ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਅਤੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ, ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੀ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਊਰਜਾਵਾਨ ਆਇਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਉੱਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ ਜਦੋਂ ਕਿ ਜਮ੍ਹਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਚਾਰਜ ਕੀਤੇ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਪ੍ਰਭਾਵਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਲੜੀ ਪੈਦਾ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ।
① ਝਿੱਲੀ / ਅਧਾਰ ਬੰਧਨ ਬਲ (ਅਡੈਸ਼ਨ) ਮਜ਼ਬੂਤ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਹੋਏ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਕਾਰਨ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਡਿੱਗਣਾ ਆਸਾਨ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਤਾਂ ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਾਫ਼, ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਅਤੇ ਗਰਮ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕੇ, ਨਾ ਸਿਰਫ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਅਤੇ ਦੂਸ਼ਿਤ ਪਰਤ 'ਤੇ ਗੈਸ ਦੇ ਸੋਸ਼ਣ ਨੂੰ ਦੂਰ ਕਰਨ ਲਈ, ਸਗੋਂ ਸਬਸਟਰੇਟ ਆਕਸਾਈਡ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਵੀ ਹਟਾਉਣ ਲਈ। ਹੀਟਿੰਗ ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਦੀ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਵਧੇ ਹੋਏ ਪ੍ਰਸਾਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਕਾਰਨ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਦੋਵੇਂ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ ਪਰਤ ਸੰਗਠਨ ਦੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲਿਨ ਗੁਣਾਂ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ, ਪਰ ਮਿਸ਼ਰਤ ਪੜਾਵਾਂ ਦੇ ਗਠਨ ਲਈ ਸ਼ਰਤਾਂ ਵੀ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ; ਅਤੇ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ, ਪਰ ਇੱਕ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਆਇਨ ਬੀਮ ਮਿਕਸਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵੀ ਪੈਦਾ ਕਰਦੀ ਹੈ।
② ਆਇਨ ਪਰਤ, ਉੱਚ ਦਬਾਅ (1Pa ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂ ਬਰਾਬਰ) ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ ਚੰਗੀ ਬਾਈਪਾਸਿੰਗ ਰੇਡੀਏਸ਼ਨ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਕਾਰਨ, ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਦੇ ਕਈ ਟਕਰਾਵਾਂ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤੱਕ ਆਪਣੀ ਯਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਵਾਸ਼ਪ ਆਇਨ ਜਾਂ ਅਣੂ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਫਿਲਮ ਦੇ ਕਣ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਆਲੇ-ਦੁਆਲੇ ਖਿੰਡੇ ਜਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੀ ਕਵਰੇਜ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ; ਅਤੇ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਫਿਲਮ ਕਣ ਵੀ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਵੋਲਟੇਜ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਅਧੀਨ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੇ ਜਾਣਗੇ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਵੋਲਟੇਜ ਵਾਲੀ ਕੋਈ ਵੀ ਸਥਿਤੀ, ਜੋ ਕਿ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਨਹੀਂ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ।
-ਇਹ ਲੇਖ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਜਨਵਰੀ-12-2024