ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ (ଯାହାକୁ ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂ କୁହାଯାଏ) ହେଉଛି ଯୁକ୍ତରାଷ୍ଟ୍ରରେ 1963 ମସିହାରେ ସୋମଡିଆ କମ୍ପାନୀ ଡିଏମ୍ ମ୍ୟାଟୋକ୍ସ ପ୍ରସ୍ତାବ ଦେଇଥିଲେ, 1970 ଦଶକରେ ଏକ ନୂତନ ପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ଦ୍ରୁତ ବିକାଶ ହୋଇଛି। ଏହା ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାୟୁମଣ୍ଡଳରେ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ କିମ୍ବା ସ୍ପଟରିଂ ଲକ୍ଷ୍ୟ ବ୍ୟବହାରକୁ ବୁଝାଏ ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ବାଷ୍ପୀଭବନ କିମ୍ବା ସ୍ପଟରିଂ, ସ୍ପଟରିଂ କିମ୍ବା ସ୍ପଟରିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଡିସଚାର୍ଜ ସ୍ଥାନରେ କଣିକାର ଏକ ଅଂଶରୁ ଧାତୁ ଆୟନରେ ଆୟନିତ ହୁଏ।
ଏହି କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ପ୍ରଭାବରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସୃଷ୍ଟି କରନ୍ତି।
ସାଧାରଣତଃ ଆୟନ ଉତ୍ସ ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ପାଇଁ ଝିଲ୍ଲୀ ସାମଗ୍ରୀ ଅନୁସାରେ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂକୁ ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯିବ: ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ ପ୍ରକାର ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂ ଏବଂ ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ ପ୍ରକାର ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂ। ପ୍ରଥମଟି ଧାତୁ ବାଷ୍ପ ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ପାଇଁ ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଗରମ କରି ବାଷ୍ପୀଭବନ କରାଯାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଏହା ଆଂଶିକ ଭାବରେ ଧାତୁ ବାଷ୍ପ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଡିସର୍ଚ ପ୍ଲାଜ୍ମାର ସ୍ଥାନରେ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ନିରପେକ୍ଷ ପରମାଣୁରେ ଆୟନିତ ହୁଏ, ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିବା ପାଇଁ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ଭୂମିକା ମାଧ୍ୟମରେ; ପରବର୍ତ୍ତୀଟି ହେଉଛି ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ବୋମାମାଡ଼ର ପୃଷ୍ଠରେ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆୟନ (ଯଥା, Ar +) ବ୍ୟବହାର କରି କଣିକାଗୁଡିକରୁ ସ୍ପଟରିଂକୁ ଆୟନ କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ନିରପେକ୍ଷ ପରମାଣୁରେ ଆୟନିତ ଗ୍ୟାସ୍ ଡିସର୍ଚରେ ବାହାର କରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ପହଞ୍ଚି ଫିଲ୍ମ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମାର୍ଚ୍ଚ-୦୭-୨୦୨୪