① ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଦୃଢ଼ ଆସନ ଦ୍ୱାରା ବର୍ଣ୍ଣିତ, ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ବହୁତ ଶକ୍ତିଶାଳୀ। ପରୀକ୍ଷାରୁ ଜଣାପଡିଛି ଯେ: ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ତାପଜ ବାଷ୍ପ ଜମା ଅପେକ୍ଷା ଅନେକ ଗୁଣରୁ ଶହ ଶହ ଗୁଣ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି, କାରଣ ମୁଖ୍ୟତଃ ସଫା ପ୍ରଭାବର ପୃଷ୍ଠରେ ଆୟନ ବୋମା ମାଡ଼ ଯୋଗୁଁ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଝିଲ୍ଲୀ ମୂଳ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ଏକ ଗ୍ରେଡିଏଣ୍ଟ ଇଣ୍ଟରଫେସିଆଲ୍ ଗଠନ, କିମ୍ବା ହାଇବ୍ରିଡ୍ ଟ୍ରାଞ୍ଜିସନ୍ ସ୍ତର ଗଠନ କରିଥାଏ, ଏବଂ ଝିଲ୍ଲୀର ଚାପକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।
② ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟକ ଜମା ଫିଲ୍ମର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ, ଥକାପଣ ଜୀବନକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିପାରିବ, ଅକ୍ସାଇଡ୍, କାର୍ବାଇଡ୍, କ୍ୟୁବିକ୍ BN, TiB: ଏବଂ ହୀରା ପରି ଆବରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉପଯୁକ୍ତ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, 1Crl8Ni9Ti ଉତ୍ତାପ-ପ୍ରତିରୋଧୀ ଇସ୍ପାତରେ 200nm SiN ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଆୟନ ବିମ୍-ସହାୟିତ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରି, ପତଳା ଫିଲ୍ମ, କେବଳ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରେ ଥକାପଣ ଫାଟର ଉଦୟକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିପାରିବ ନାହିଁ, ବରଂ ଥକାପଣ ଫାଟ ପ୍ରସାରଣ ହାରକୁ ମଧ୍ୟ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ, ଏହାର ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଭଲ ଭୂମିକା ରହିଛି।
③ ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ଫିଲ୍ମର ଚାପ ପ୍ରକୃତି ଏବଂ ଏହାର ସ୍ଫଟିକ ଗଠନ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିପାରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠର 11.5keV Xe + କିମ୍ବା Ar + ବୋମା ସହିତ Cr ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତି, ଦେଖାଗଲା ଯେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା, ବୋମା ଆୟନ୍ ଶକ୍ତି, ଆୟନ୍ ଏବଂ ପରମାଣୁ ଆଗମନ ଅନୁପାତ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକର ସମାୟୋଜନ, ଚାପକୁ ଟେନସାଇଲ୍ ରୁ ସଙ୍କୋଚନାତ୍ମକ ଚାପକୁ କରିପାରିବ, ଫିଲ୍ମର ସ୍ଫଟିକ ଗଠନ ମଧ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣିବ। ଆୟନ ଏବଂ ପରମାଣୁର ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଅନୁପାତ ଅଧୀନରେ, ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ତାପଜ ବାଷ୍ପ ଜମା ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥିବା ଝିଲ୍ଲୀ ସ୍ତର ଅପେକ୍ଷା ଭଲ ଚୟନମୂଳକ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶ ଥାଏ।
④ ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା କରିବା ଦ୍ୱାରା ଝିଲ୍ଲୀର କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡେସନ ପ୍ରତିରୋଧ ବୃଦ୍ଧି ପାଇପାରେ। ଯେହେତୁ ଝିଲ୍ଲୀ ସ୍ତରର ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ଘନ ହୋଇଥାଏ, ଝିଲ୍ଲୀ ଆଧାର ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ଗଠନରେ ଉନ୍ନତି କିମ୍ବା କଣିକା ମଧ୍ୟରେ ଶସ୍ୟ ସୀମା ଅଦୃଶ୍ୟ ହେବା ଦ୍ୱାରା ଆକାରହୀନ ଅବସ୍ଥାର ଗଠନ ହୁଏ, ଯାହା ସାମଗ୍ରୀର କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡେସନ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ସହାୟକ ହୋଇଥାଏ।
ସାମଗ୍ରୀର କ୍ଷରଣ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ବୃଦ୍ଧି କରନ୍ତୁ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାର ଅକ୍ସିଡାଇଜିଂ ପ୍ରଭାବକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରନ୍ତୁ।
(୫) ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ଫିଲ୍ମର ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ ଗୁଣକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପତଳା ଫିଲ୍ମର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ। (୬) ଆୟନ-ସହାୟତାରେ ଜମା କମ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ ବିଭିନ୍ନ ପତଳା ଫିଲ୍ମର ବୃଦ୍ଧିକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଚିକିତ୍ସା ଦ୍ୱାରା ହେଉଥିବା ସାମଗ୍ରୀ କିମ୍ବା ସଠିକ ଅଂଶ ଉପରେ ପ୍ରତିକୂଳ ପ୍ରଭାବକୁ ଏଡାଏ, କାରଣ ପରମାଣୁ ଜମା ଏବଂ ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ସହିତ ଜଡିତ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ସଠିକ୍ ଏବଂ ସ୍ୱାଧୀନ ଭାବରେ ସଜାଡ଼ି ଦିଆଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ସ୍ଥିର ରଚନା ସହିତ କିଛି ମାଇକ୍ରୋମିଟରର ଆବରଣ କମ୍ ବୋମାମାଡ଼ ଶକ୍ତିରେ ନିରନ୍ତର ସୃଷ୍ଟି କରାଯାଇପାରିବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମାର୍ଚ୍ଚ-୦୭-୨୦୨୪