① Ukadaulo wothandizidwa ndi ion mtengo umadziwika ndi kumamatira mwamphamvu pakati pa filimuyo ndi gawo lapansi, filimuyo ndi yolimba kwambiri. Zoyesera zasonyeza kuti: ion mtengo anathandiza mafunsidwe a adhesion kuposa adhesion wa matenthedwe nthunzi mafunsidwe chawonjezeka kangapo mpaka mazana a nthawi, chifukwa makamaka chifukwa cha ion bombardment pamwamba pa kuyeretsa kwenikweni, kotero kuti nembanemba m'munsi mawonekedwe kupanga gradient interfacial dongosolo, kapena wosakanizidwa kusintha wosanjikiza, komanso kuchepetsa kupsyinjika kwa nembanemba.
② Kuyika kwa mtengo wa ion kumatha kusintha mawonekedwe a filimuyo, kuwonjezera moyo wa kutopa, koyenera kwambiri pokonzekera ma oxides, carbides, cubic BN, TiB: ndi zokutira ngati diamondi. Mwachitsanzo, mu 1Crl8Ni9Ti kutentha zosagwira zitsulo pa ntchito ion mtengo-anathandiza mafunsidwe luso kukula 200nm SiN, woonda filimu, osati ziletsa zikamera wa kutopa ming'alu pamwamba pa zinthu, komanso akhoza kwambiri kuchepetsa kutopa mng'alu kufalikira mlingo, kuwonjezera moyo wake ali ndi udindo wabwino.
③ Kuyika kothandizira kwa ion kumatha kusintha kupsinjika kwa filimuyo ndikusintha kwake kwa makristalo. Mwachitsanzo, kukonzekera kwa Cr filimu ndi 11.5keV Xe + kapena Ar + bombardment ya gawo lapansi, anapeza kuti kusintha kwa gawo lapansi kutentha, bombardment ion mphamvu, ion ndi atomu kufika chiŵerengero ndi magawo ena, kungachititse kupsyinjika kuchokera kumakakamizika kupsinjika maganizo, mawonekedwe a kristalo a filimuyo adzasinthanso. Pansi pa chiŵerengero china cha ma ion ku ma atomu, kuyika kwa ma ion mtengo wothandizira kumakhala kosankha bwino kuposa kusanjikiza kwa nembanemba komwe kumayikidwa ndi mpweya wotentha.
④ Kuyika kothandizira kwa ion kumatha kukulitsa kukana kwa dzimbiri ndi kukana kwa okosijeni kwa nembanemba. Monga ion mtengo anathandiza mafunsidwe a nembanemba wosanjikiza wandiweyani, nembanemba m'munsi mawonekedwe dongosolo kusintha kapena mapangidwe amorphous boma chifukwa cha kuzimiririka kwa njere malire pakati particles, amene amathandiza kuti kuwongola kukana dzimbiri ndi makutidwe ndi okosijeni kukana zinthu.
Limbikitsani kukana kwa dzimbiri ndi kukana mphamvu ya oxidizing ya kutentha kwambiri.
(5) Kuyika kothandizira kwa ion kumatha kusintha mawonekedwe amagetsi a filimuyo ndikuwongolera magwiridwe antchito amafilimu owonda kwambiri. (6) Kuyika kothandizidwa ndi ion kumalola kukula kwa mafilimu ocheperako pang'ono pa kutentha kochepa ndikupewa zotsatira zoyipa pazinthu kapena magawo olondola omwe angayambitsidwe ndi chithandizo cha kutentha kwambiri, chifukwa magawo okhudzana ndi kuyika kwa atomiki ndi kuyika kwa ion amatha kusinthidwa molondola komanso mosadalira, ndipo zokutira za ma micrometer ochepa okhala ndi mawonekedwe osasinthika amatha kupangidwa mosalekeza.
Nthawi yotumiza: Mar-07-2024