Sammenlignet med fordampningsbelegg og sputterbelegg er det viktigste trekket ved ionebelegg at de energiske ionene bombarderer substratet og filmlaget mens avsetningen finner sted. Bombardementet av ladede ioner produserer en rekke effekter, hovedsakelig som følger.
① Membran/basebindingskraften (adhesjonen) er sterk, og filmlaget faller ikke lett av på grunn av ionebombardementet som genereres av sputtereffekten på substratet. Dette gjør at substratet rengjøres, aktiveres og varmes opp. Dette fjerner ikke bare adsorpsjonen av gasser på substratoverflaten og det forurensede laget, men fjerner også oksider på substratoverflaten. Oppvarming og defekter forårsaket av ionbombardement kan forårsakes av den forbedrede diffusjonseffekten av substratet. Dette forbedrer både krystallinske egenskaper i substratoverflatelagets organisering og gir også betingelser for dannelse av legeringsfaser. I tillegg til ionebombardement med høyere energi produseres det en viss mengde ioneimplantasjon og ionestråleblandingseffekt.
② Ionbelegg produserer god bypass-stråling ved høyere trykk (større enn eller lik 1 Pa). ioniserte dampioner eller molekyler vil støte på en rekke kollisjoner på veien til substratet før gassmolekylene støter på en rekke, slik at filmpartiklene kan spres rundt substratet, og dermed forbedre dekningen av filmlaget. De ioniserte filmpartiklene vil også bli avsatt under påvirkning av det elektriske feltet på overflaten av substratet med negativ spenning. Enhver posisjon på overflaten av substratet med negativ spenning kan ikke oppnås ved fordampningsplettering.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 12. januar 2024