आयन कोटिंग विशेषताहरू र प्रयोग-अध्याय १

वाष्पीकरण प्लेटिङ र स्पटरिङ प्लेटिङको तुलनामा, आयन प्लेटिङको सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण विशेषता भनेको निक्षेपण हुँदा ऊर्जावान आयनहरूले सब्सट्रेट र फिल्म तहमा बमबारी गर्छन्। चार्ज गरिएको आयनहरूको बमबारीले प्रभावहरूको श्रृंखला उत्पादन गर्दछ, मुख्यतया निम्नानुसार।

① झिल्ली / आधार बन्धन बल (आसंजन) बलियो, स्पटरिंग प्रभावबाट उत्पन्न सब्सट्रेटको आयन बमबारीका कारण फिल्म तह खस्न सजिलो छैन, जसले गर्दा सब्सट्रेट सफा, सक्रिय र तताइएको छ, जसले सब्सट्रेटको सतहमा रहेको ग्यासको सोखना र दूषित तह हटाउन मात्र होइन, तर सब्सट्रेट अक्साइडको सतह हटाउन पनि मद्दत गर्दछ। सब्सट्रेटको बढेको प्रसार प्रभावको कारणले ताप र दोषहरूको आयन बमबारी हुन सक्छ, दुबै सब्सट्रेट सतह तह संगठनको क्रिस्टलीय गुणहरू सुधार गर्न, तर मिश्र धातु चरणहरूको गठनको लागि अवस्थाहरू पनि प्रदान गर्दछ; र उच्च ऊर्जा आयन बमबारी, तर निश्चित मात्रामा आयन इम्प्लान्टेसन र आयन बीम मिश्रण प्रभाव पनि उत्पादन गर्दछ।

② उच्च चाप (१Pa भन्दा बढी वा बराबर) को अवस्थामा राम्रो बाइपासिङ विकिरण उत्पादन गर्ने आयन कोटिंगले ग्यास अणुहरूले धेरै टक्करहरूको सामना गर्नु अघि सब्सट्रेटमा आफ्नो यात्रामा आयनीकृत वाष्प आयनहरू वा अणुहरू हुन्छन्, त्यसैले फिल्म कणहरू सब्सट्रेट वरिपरि छरिएका हुन सक्छन्, जसले गर्दा फिल्म तहको कभरेजमा सुधार हुन्छ; र आयनीकृत फिल्म कणहरू पनि नकारात्मक भोल्टेज भएको सब्सट्रेटको सतहमा विद्युतीय क्षेत्रको कार्य अन्तर्गत जम्मा हुनेछन्। नकारात्मक भोल्टेज भएको सब्सट्रेटको सतहमा कुनै पनि स्थिति, जुन वाष्पीकरण प्लेटिङद्वारा प्राप्त गर्न सकिँदैन।

- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua