व्हॅक्यूम आयन कोटिंग

व्हॅक्यूम आयन कोटिंग (ज्याला आयन प्लेटिंग म्हणतात) हे १९६३ मध्ये युनायटेड स्टेट्समध्ये सोमडिया कंपनी डीएम मॅटॉक्सने प्रस्तावित केले होते, १९७० च्या दशकात नवीन पृष्ठभाग उपचार तंत्रज्ञानाचा जलद विकास झाला आहे. हे व्हॅक्यूम वातावरणात बाष्पीभवन स्रोत किंवा स्पटरिंग लक्ष्याचा वापर दर्शवते जेणेकरून फिल्म मटेरियल बाष्पीभवन किंवा स्पटरिंग, बाष्पीभवन किंवा स्पटरिंग गॅस डिस्चार्ज स्पेसमधील कणांच्या एका भागातून बाहेर पडून धातूच्या आयनमध्ये आयनीकरण केले जाईल.

हे कण विद्युत क्षेत्राच्या क्रियेखाली थरावर जमा होतात आणि पातळ फिल्म प्रक्रिया निर्माण करतात.

आयन स्रोत तयार करण्यासाठी पडदा सामग्रीनुसार, अनेक प्रकारचे व्हॅक्यूम आयन प्लेटिंग दोन प्रकारांमध्ये विभागले जाईल: बाष्पीभवन स्रोत प्रकार आयन प्लेटिंग आणि स्पटरिंग लक्ष्य प्रकार आयन प्लेटिंग. पहिल्या प्रकाराचे बाष्पीभवन फिल्म मटेरियल गरम करून धातूची वाफ तयार करून केले जाते, जेणेकरून ते अंशतः धातूच्या वाफांमध्ये आणि गॅस डिस्चार्ज प्लाझ्माच्या जागेत उच्च-ऊर्जा तटस्थ अणूंमध्ये आयनीकृत केले जाते, पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी सब्सट्रेटपर्यंत पोहोचण्यासाठी विद्युत क्षेत्राच्या भूमिकेद्वारे; नंतरचे म्हणजे फिल्म मटेरियल बॉम्बर्डमेंटच्या पृष्ठभागावर उच्च-ऊर्जा आयनांचा (उदा., Ar +) वापर करून कणांमधून आयन किंवा उच्च-ऊर्जा तटस्थ अणूंमध्ये आयनीकृत गॅस डिस्चार्जच्या जागेतून बाहेर पडणे, सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर पोहोचणे आणि फिल्म निर्माण करणे.

- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ