बाष्पीभवन प्लेटिंग आणि स्पटरिंग प्लेटिंगच्या तुलनेत, आयन प्लेटिंगचे सर्वात महत्वाचे वैशिष्ट्य म्हणजे निक्षेपण होत असताना ऊर्जावान आयन सब्सट्रेट आणि फिल्म लेयरवर भडिमार करतात. चार्ज केलेल्या आयनांचा भडिमार अनेक परिणाम निर्माण करतो, प्रामुख्याने खालीलप्रमाणे.
① पडदा / बेस बाँडिंग फोर्स (आसंजन) मजबूत, स्पटरिंग इफेक्टमुळे निर्माण होणाऱ्या सब्सट्रेटच्या आयन बॉम्बर्डमेंटमुळे फिल्म लेयर पडणे सोपे नाही, ज्यामुळे सब्सट्रेट स्वच्छ, सक्रिय आणि गरम होते, केवळ सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावरील वायूचे शोषण आणि दूषित थर काढून टाकण्यासाठीच नाही तर सब्सट्रेट ऑक्साइडची पृष्ठभाग देखील काढून टाकते. सब्सट्रेटच्या वाढीव प्रसार प्रभावामुळे हीटिंग आणि दोषांचे आयन बॉम्बर्डमेंट होऊ शकते, दोन्ही सब्सट्रेट पृष्ठभागाच्या थर संघटनेचे स्फटिकीय गुणधर्म सुधारण्यासाठी, परंतु मिश्र धातुच्या टप्प्यांच्या निर्मितीसाठी परिस्थिती देखील प्रदान करते; आणि उच्च ऊर्जा आयन बॉम्बर्डमेंट, परंतु विशिष्ट प्रमाणात आयन इम्प्लांटेशन आणि आयन बीम मिक्सिंग इफेक्ट देखील निर्माण करते.
② जास्त दाबाच्या बाबतीत (1Pa पेक्षा जास्त किंवा त्यापेक्षा जास्त) चांगले बायपासिंग रेडिएशन निर्माण करणारे आयन कोटिंग म्हणजे आयनीकृत वाष्प आयन किंवा रेणू, जे गॅस रेणूंना अनेक टक्कर होण्यापूर्वी सब्सट्रेटपर्यंत प्रवास करतात, त्यामुळे फिल्म कण सब्सट्रेटभोवती विखुरले जाऊ शकतात, त्यामुळे फिल्म लेयरचे कव्हरेज सुधारते; आणि आयनीकृत फिल्म कण देखील सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावरील विद्युत क्षेत्राच्या क्रियेखाली जमा केले जातील नकारात्मक व्होल्टेजसह सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावरील कोणतीही स्थिती, जी बाष्पीभवन प्लेटिंगद्वारे प्राप्त करता येत नाही.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: जानेवारी-१२-२०२४