Ууршилтаар бүрэх, цацах бүрэхтэй харьцуулахад ион бүрэх хамгийн чухал онцлог нь энергийн ионууд нь суурь давхарга болон хальсан давхаргад хуримтлагдах үед бөмбөгддөг. Цэнэглэгдсэн ионуудын бөмбөгдөлт нь дараах хэд хэдэн үр нөлөөг бий болгодог.
① Мембран / суурийн бэхэлгээний хүч (наалдалт) хүчтэй, шүрших нөлөөгөөр үүссэн субстратын ионы бөмбөгдөлтөөс болж хальсан давхарга нь унахад хялбар биш бөгөөд ингэснээр субстратыг цэвэрлэж, идэвхжүүлж, халааж, зөвхөн субстратын гадаргуу болон бохирдсон давхаргын хийн шингээлтийг арилгахаас гадна субстратын гадаргууг исэлдүүлнэ. Халаалтын ионы бөмбөгдөлт ба согог нь субстратын гадаргуугийн давхаргын зохион байгуулалтын талст шинж чанарыг сайжруулахын тулд субстратын тархалтын нөлөөг сайжруулснаар үүсч болно, гэхдээ хайлшийн үе шат үүсэх нөхцлийг бүрдүүлдэг; ба өндөр энергийн ионы бөмбөгдөлтөөс гадна тодорхой хэмжээний ион суулгац, ионы цацраг холих нөлөө үзүүлдэг.
② Өндөр даралт (1Па-аас их буюу тэнцүү) үед сайн дамждаг цацраг үүсгэдэг учир ион бүрэх нь ионжуулсан уурын ионууд эсвэл молекулууд нь субстрат руу явахдаа хийн молекулууд хэд хэдэн мөргөлдөөнтэй тулгарах тул хальсан хэсгүүд нь субстратын давхаргын эргэн тойронд тархаж, улмаар хальсан бүрхэвчийг шингээж өгдөг; мөн ионжсон хальсан хэсгүүд нь сөрөг хүчдэлтэй субстратын гадаргуу дээрх цахилгаан талбайн нөлөөн дор хуримтлагдах болно. Сөрөг хүчдэлтэй субстратын гадаргуу дээрх аливаа байрлал, ууршилтаар бүрэх замаар хүрч чадахгүй.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 1-р сарын 12-ны хооронд