വാക്വം അയോൺ കോട്ടിംഗ്

1963-ൽ അമേരിക്കയിൽ സോംഡിയ കമ്പനിയായ ഡിഎം മാറ്റോക്സ് നിർദ്ദേശിച്ച വാക്വം അയോൺ കോട്ടിംഗ് (അയൺ പ്ലേറ്റിംഗ് എന്നറിയപ്പെടുന്നു) 1970-കളിൽ ഒരു പുതിയ ഉപരിതല സംസ്കരണ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ദ്രുതഗതിയിലുള്ള വികസനമായിരുന്നു. വാക്വം അന്തരീക്ഷത്തിൽ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സിന്റെയോ സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യത്തിന്റെയോ ഉപയോഗത്തെ ഇത് സൂചിപ്പിക്കുന്നു, അങ്ങനെ ഫിലിം മെറ്റീരിയൽ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുകയോ സ്പട്ടറിംഗ് ചെയ്യുകയോ, വാതക ഡിസ്ചാർജ് സ്ഥലത്തെ കണികകളുടെ ഒരു ഭാഗത്ത് നിന്ന് ലോഹ അയോണുകളായി അയോണീകരിക്കപ്പെടുകയോ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുകയോ സ്പട്ടറിംഗ് ചെയ്യുകയോ ചെയ്യുന്നു.

വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിന്റെ പ്രവർത്തനത്തിൽ ഈ കണികകൾ അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കപ്പെടുകയും ഒരു നേർത്ത ഫിലിം പ്രക്രിയ സൃഷ്ടിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

സാധാരണയായി അയോൺ സ്രോതസ്സ് ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള മെംബ്രൻ മെറ്റീരിയൽ അനുസരിച്ച് പല തരത്തിലുള്ള വാക്വം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് രണ്ട് തരങ്ങളായി വിഭജിക്കപ്പെടും: ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് തരം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ്, സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് തരം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ്. ലോഹ നീരാവി ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നതിനായി ഫിലിം മെറ്റീരിയൽ ചൂടാക്കി ആദ്യത്തേത് ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുന്നു, അങ്ങനെ അത് വാതക ഡിസ്ചാർജ് പ്ലാസ്മയുടെ സ്ഥലത്ത് ലോഹ നീരാവികളായും ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ന്യൂട്രൽ ആറ്റങ്ങളായും ഭാഗികമായി അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു, നേർത്ത ഫിലിമുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് അടിവസ്ത്രത്തിൽ എത്തുന്നതിനുള്ള വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിന്റെ പങ്ക് വഴി; രണ്ടാമത്തേത് ഫിലിം മെറ്റീരിയൽ ബോംബാർഡ്മെന്റിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഉയർന്ന ഊർജ്ജ അയോണുകൾ (ഉദാ. Ar +) ഉപയോഗിച്ച് കണികകളിൽ നിന്ന് അയോണുകളാക്കി അല്ലെങ്കിൽ ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ന്യൂട്രൽ ആറ്റങ്ങളായി അയോണീകരിക്കപ്പെട്ട വാതക ഡിസ്ചാർജിന്റെ ഇടത്തിലൂടെ സ്പട്ടറിംഗ് ഉണ്ടാക്കുകയും അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെത്തുകയും ഫിലിം സൃഷ്ടിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ