ബാഷ്പീകരണ പ്ലേറ്റിംഗുമായും സ്പട്ടറിംഗ് പ്ലേറ്റിംഗുമായും താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട സവിശേഷത, നിക്ഷേപം നടക്കുമ്പോൾ ഊർജ്ജസ്വലമായ അയോണുകൾ അടിവസ്ത്രത്തെയും ഫിലിം പാളിയെയും ആക്രമിക്കുന്നു എന്നതാണ്. ചാർജ്ജ് ചെയ്ത അയോണുകളുടെ ബോംബാർഡ്മെന്റ് പ്രധാനമായും താഴെപ്പറയുന്ന തരത്തിലുള്ള നിരവധി ഇഫക്റ്റുകൾ ഉണ്ടാക്കുന്നു.
① മെംബ്രൻ / ബേസ് ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്സ് (അഡീഷൻ) ശക്തമാണ്, സ്പട്ടറിംഗ് ഇഫക്റ്റ് വഴി സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്ന അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ അയോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ് കാരണം ഫിലിം പാളി എളുപ്പത്തിൽ വീഴില്ല, അതിനാൽ അടിവസ്ത്രം വൃത്തിയാക്കാനും സജീവമാക്കാനും ചൂടാക്കാനും കഴിയും, അടിവസ്ത്രത്തിന്റെയും മലിനമായ പാളിയുടെയും ഉപരിതലത്തിലുള്ള വാതകത്തിന്റെ ആഗിരണം നീക്കം ചെയ്യാൻ മാത്രമല്ല, അടിവസ്ത്ര ഓക്സൈഡുകളുടെ ഉപരിതലം നീക്കം ചെയ്യാനും ഇത് സഹായിക്കുന്നു. അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ വർദ്ധിച്ച വ്യാപന പ്രഭാവം മൂലം ചൂടാക്കലിനും വൈകല്യങ്ങൾക്കും അയോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ് ഉണ്ടാകാം, ഇത് അടിവസ്ത്ര ഉപരിതല പാളി ഓർഗനൈസേഷന്റെ ക്രിസ്റ്റലിൻ ഗുണങ്ങൾ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് മാത്രമല്ല, അലോയ് ഘട്ടങ്ങളുടെ രൂപീകരണത്തിനുള്ള വ്യവസ്ഥകൾ നൽകുന്നു; ഉയർന്ന ഊർജ്ജ അയോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ്, മാത്രമല്ല ഒരു നിശ്ചിത അളവിലുള്ള അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷനും അയോൺ ബീം മിക്സിംഗ് ഇഫക്റ്റും ഉണ്ടാക്കുന്നു.
② ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിൽ (1Pa-ൽ കൂടുതലോ തുല്യമോ) നല്ല ബൈപാസിംഗ് വികിരണം ഉൽപാദിപ്പിക്കുന്നതിനാൽ അയോൺ കോട്ടിംഗ്, വാതക തന്മാത്രകൾ നിരവധി കൂട്ടിയിടികൾ നേരിടുന്നതിന് മുമ്പ് അടിവസ്ത്രത്തിലേക്കുള്ള യാത്രയിൽ അയോണൈസ്ഡ് നീരാവി അയോണുകളോ തന്മാത്രകളോ ആണ്, അതിനാൽ ഫിലിം കണികകൾ അടിവസ്ത്രത്തിന് ചുറ്റും ചിതറിക്കിടക്കാൻ കഴിയും, അങ്ങനെ ഫിലിം പാളിയുടെ കവറേജ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു; കൂടാതെ അയോണൈസ്ഡ് ഫിലിം കണികകൾ നെഗറ്റീവ് വോൾട്ടേജുള്ള അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിന്റെ പ്രവർത്തനത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കപ്പെടും. ബാഷ്പീകരണ പ്ലേറ്റിംഗ് വഴി നേടാൻ കഴിയാത്ത നെഗറ്റീവ് വോൾട്ടേജുള്ള അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെ ഏത് സ്ഥാനവും.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: ജനുവരി-12-2024

