അയോൺ ബീം ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നോളജി

① അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ സവിശേഷത ഫിലിമിനും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനും ഇടയിലുള്ള ശക്തമായ അഡീഷൻ ആണ്, ഫിലിം പാളി വളരെ ശക്തമാണ്. പരീക്ഷണങ്ങൾ തെളിയിച്ചിട്ടുണ്ട്: അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ, താപ നീരാവി ഡിപ്പോസിഷന്റെ അഡീഷൻ നിരവധി മടങ്ങ് വർദ്ധിച്ച് നൂറുകണക്കിന് മടങ്ങ് ആയി, കാരണം പ്രധാനമായും ക്ലീനിംഗ് ഇഫക്റ്റിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെ അയോൺ ബോംബാർഡ്‌മെന്റ് മൂലമാണ്, അതിനാൽ മെംബ്രൻ ബേസ് ഇന്റർഫേസ് ഒരു ഗ്രേഡിയന്റ് ഇന്റർഫേഷ്യൽ ഘടന അല്ലെങ്കിൽ ഹൈബ്രിഡ് ട്രാൻസിഷൻ പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിനും മെംബ്രണിന്റെ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നതിനും സഹായിക്കുന്നു.

② അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം ഫിലിമിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ മെച്ചപ്പെടുത്താനും ക്ഷീണ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കാനും കഴിയും, ഓക്സൈഡുകൾ, കാർബൈഡുകൾ, ക്യൂബിക് BN, TiB: വജ്രം പോലുള്ള കോട്ടിംഗുകൾ എന്നിവ തയ്യാറാക്കാൻ വളരെ അനുയോജ്യമാണ്. ഉദാഹരണത്തിന്, 1Crl8Ni9Ti ചൂട്-പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള സ്റ്റീലിൽ, 200nm SiN വളർത്താൻ അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച്, നേർത്ത ഫിലിം, മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ക്ഷീണ വിള്ളലുകൾ ഉണ്ടാകുന്നത് തടയാൻ മാത്രമല്ല, ക്ഷീണ വിള്ളൽ വ്യാപന നിരക്ക് ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കാനും കഴിയും, അതിന്റെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് നല്ല പങ്കുണ്ട്.

③ അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം ഫിലിമിന്റെ സമ്മർദ്ദ സ്വഭാവത്തെ മാറ്റുകയും അതിന്റെ ക്രിസ്റ്റലിൻ ഘടനയിൽ മാറ്റങ്ങൾ വരുത്തുകയും ചെയ്യും. ഉദാഹരണത്തിന്, 11.5keV Xe + അല്ലെങ്കിൽ Ar + ബോംബാർഡ്‌മെന്റ് ഉപയോഗിച്ച് അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിൽ Cr ഫിലിം തയ്യാറാക്കുമ്പോൾ, അടിവസ്ത്ര താപനില, ബോംബാർഡ്‌മെന്റ് അയോൺ ഊർജ്ജം, അയോൺ, ആറ്റം ആഗമന അനുപാതം, മറ്റ് പാരാമീറ്ററുകൾ എന്നിവയുടെ ക്രമീകരണം ടെൻസൈൽ മുതൽ കംപ്രസ്സീവ് സ്ട്രെസ് വരെയുള്ള സമ്മർദ്ദത്തിന് കാരണമാകുമെന്ന് കണ്ടെത്തി, ഫിലിമിന്റെ ക്രിസ്റ്റൽ ഘടനയും മാറ്റങ്ങൾ വരുത്തും. അയോണുകളും ആറ്റങ്ങളും തമ്മിലുള്ള ഒരു നിശ്ചിത അനുപാതത്തിൽ, താപ നീരാവി നിക്ഷേപം വഴി നിക്ഷേപിക്കപ്പെടുന്ന മെംബ്രൻ പാളിയേക്കാൾ മികച്ച സെലക്ടീവ് ഓറിയന്റേഷൻ അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപത്തിനുണ്ട്.

④ അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം സ്തരത്തിന്റെ നാശന പ്രതിരോധവും ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധവും വർദ്ധിപ്പിക്കും. മെംബ്രൺ പാളിയുടെ അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം സാന്ദ്രമായതിനാൽ, മെംബ്രൻ ബേസ് ഇന്റർഫേസ് ഘടന മെച്ചപ്പെടുത്തൽ അല്ലെങ്കിൽ കണികകൾക്കിടയിലുള്ള ധാന്യ അതിർത്തി അപ്രത്യക്ഷമാകുന്നത് മൂലമുണ്ടാകുന്ന രൂപരഹിതമായ അവസ്ഥയുടെ രൂപീകരണം, ഇത് വസ്തുക്കളുടെ നാശന പ്രതിരോധത്തിന്റെയും ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധത്തിന്റെയും വർദ്ധനവിന് സഹായകമാണ്.

മെറ്റീരിയലിന്റെ നാശന പ്രതിരോധം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ഉയർന്ന താപനിലയുടെ ഓക്സിഡൈസിംഗ് ഫലത്തെ ചെറുക്കുകയും ചെയ്യുക.

(5) അയോൺ ബീം സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം ഫിലിമിന്റെ വൈദ്യുതകാന്തിക ഗുണങ്ങളെ മാറ്റുകയും ഒപ്റ്റിക്കൽ നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യും. (6) അയോൺ സഹായത്തോടെയുള്ള നിക്ഷേപം താഴ്ന്ന താപനിലയിൽ വിവിധ നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ വളർച്ചയെ അനുവദിക്കുകയും ഉയർന്ന താപനിലയിലെ ചികിത്സ മൂലമുണ്ടാകുന്ന വസ്തുക്കളിലോ കൃത്യതയുള്ള ഭാഗങ്ങളിലോ ഉണ്ടാകുന്ന പ്രതികൂല ഫലങ്ങൾ ഒഴിവാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, കാരണം ആറ്റോമിക് നിക്ഷേപവും അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷനുമായി ബന്ധപ്പെട്ട പാരാമീറ്ററുകൾ കൃത്യമായും സ്വതന്ത്രമായും ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ കുറഞ്ഞ ബോംബാർഡ്‌മെന്റ് ഊർജ്ജങ്ങളിൽ സ്ഥിരമായ ഘടനയുള്ള കുറച്ച് മൈക്രോമീറ്ററുകളുടെ കോട്ടിംഗുകൾ തുടർച്ചയായി സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയും.