① Ion taratra manampy deposition teknolojia dia miavaka amin'ny adhesion mafy eo amin'ny sarimihetsika sy ny substrate, ny sarimihetsika sosona dia tena matanjaka. Ny fanandramana dia naneho fa: ion beam manampy deposition ny adhesion noho ny adhesion ny mafana etona deposition nitombo im-betsaka ny in-jato, ny antony dia indrindra noho ny ions baomba teo ambonin'ny ny fanadiovana vokany, ka ny manify fototra interface tsara mba hamoronana gradient interfacial rafitra, na hybride tetezamita sosona, ary koa mba hampihenana ny adin-tsaina ny manify.
② Ion taratra fanampiana deposition afaka manatsara ny mekanika toetra ny sarimihetsika, hanitatra ny harerahana fiainana, tena mety amin'ny fanomanana ny oxides, carbide, toratelo BN, TiB: ary diamondra-toy ny coatings. Ohatra, ao amin'ny 1Crl8Ni9Ti hafanana-mahatohitra vy amin'ny fampiasana ny Ion andry-ampiana deposition teknolojia mba hitombo 200nm SiN, manify sarimihetsika, tsy afaka manakana ny firongatry ny harerahana triatra eo amin'ny ambonin'ny fitaovana, fa koa mety hampihena be ny harerahana triatra diffusion tahan'ny, mba hanitarana ny fiainany manana anjara tsara.
③ Ny fametrahana ny taratra Ion dia afaka manova ny toetry ny adin-tsaina amin'ny sarimihetsika sy ny fiovan'ny rafitra kristaly. Ohatra, ny fanomanana ny Cr sarimihetsika amin'ny 11.5keV Xe + na Ar + baomba ny substrate ambonin'ny, dia nahita fa ny fanitsiana ny substrate mari-pana, baomba Ion angovo, Ion sy atoma tonga tahan'ny sy ny masontsivana hafa, dia afaka manao ny adin-tsaina avy amin'ny tensile ho compressive adin-tsaina, ny kristaly firafitry ny sarimihetsika ihany koa ny hamokatra fiovana. Eo ambanin'ny tahan'ny ion amin'ny atôma, dia manana orientation mifantina tsara kokoa noho ny soson'ny membrane apetraka amin'ny fametrahana etona mafana.
④ Ion beam assisted deposition dia afaka manatsara ny fanoherana ny harafesina sy ny fanoherana ny oxidation ny membrane. Satria ny ion beam manampy deposition ny manify sosona dia matevina, ny manify fototra interface tsara rafitra fanatsarana na ny fananganana ny amorphous fanjakana vokatry ny fanjavonan'ny sisin-tany eo amin'ny poti, izay mahasoa ny fanatsarana ny harafesiny fanoherana sy ny oxidation fanoherana ny fitaovana.
Ampitomboy ny fanoherana ny harafesina amin'ny fitaovana ary manohitra ny fiantraikan'ny oxidizing amin'ny hafanana avo.
(5) Ion beam assisted deposition dia afaka manova ny toetran'ny electromagnetic amin'ny sarimihetsika ary manatsara ny fahombiazan'ny sarimihetsika manify optika. (6) Ion-assisted deposition dia mamela ny fitomboan'ny sarimihetsika manify isan-karazany amin'ny mari-pana ambany ary misoroka ny fiantraikany ratsy amin'ny fitaovana na ny ampahany mazava tsara izay mety ho vokatry ny fitsaboana amin'ny hafanana avo, satria ny mari-pamantarana mifandraika amin'ny fametrahana atomika sy ny fametrahana ion dia azo amboarina araka ny tokony ho izy sy tsy miankina, ary ny coating micrometers vitsivitsy miaraka amin'ny firafitry ny tsy miovaova dia azo avoaka tsy tapaka amin'ny baomba ambany.
Fotoana fandefasana: Mar-07-2024