Vakuuma jonu pārklāšana (saukta par jonu pārklāšanu) ir ASV uzņēmuma Somdia DM Mattox 1963. gadā ierosināta tehnoloģija, un 20. gadsimta 70. gados strauji attīstījās jauna virsmas apstrādes tehnoloģija. Tā attiecas uz iztvaikošanas avota vai izsmidzināšanas mērķa izmantošanu vakuuma atmosfērā, lai plēves materiāls iztvaikotu vai izsmidzināšanas ceļā gāzu izlādes telpā jonizētu daļu daļiņu metāla jonos.
Šīs daļiņas elektriskā lauka ietekmē tiek nogulsnētas uz substrāta, veidojot plānu plēves procesu.
Vakuuma jonu pārklāšana ir dažāda veida, parasti atkarībā no membrānas materiāla, no kura iegūst jonu avotu, un to iedala divos veidos: iztvaikošanas avota jonu pārklāšana un izsmidzināšanas mērķa jonu pārklāšana. Pirmajā gadījumā plēves materiālu iztvaicē, karsējot, lai iegūtu metāla tvaikus, tādējādi tas gāzizlādes plazmas telpā tiek daļēji jonizēts metāla tvaikos un augstas enerģijas neitrālos atomos, izmantojot elektrisko lauku, lai sasniegtu substrātu un radītu plānas plēves; otrajā gadījumā augstas enerģijas jonu (piemēram, Ar+) izmantošana uz plēves materiāla virsmas, lai daļiņas izsmidzināšanas ceļā caur gāzizlādes telpu jonizētos jonos vai augstas enerģijas neitrālos atomos sasniegtu substrāta virsmu un radītu plēvi.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 7. marts