Salīdzinot ar iztvaikošanas pārklāšanu un izsmidzināšanas pārklāšanu, jonu pārklāšanas vissvarīgākā iezīme ir tā, ka enerģētiskie joni bombardē substrātu un plēves slāni, kamēr notiek nogulsnēšanās. Uzlādēto jonu bombardēšana rada virkni efektu, galvenokārt šādus.
1. Membrānas/pamatnes saķeres spēks (adhēzija) ir spēcīgs, tāpēc plēves slānis ne viegli nokrīt, jo jonu bombardēšana rada substrātu izsmidzināšanas efektu, tāpēc substrāts tiek attīrīts, aktivizēts un uzkarsēts, ne tikai lai noņemtu gāzes adsorbciju uz substrāta virsmas un piesārņoto slāni, bet arī lai noņemtu substrāta virsmas oksīdus. Jonu bombardēšanas radīto sildīšanu un defektus var izraisīt substrāta pastiprinātā difūzijas iedarbība, kas gan uzlabo substrāta virsmas slāņa kristāliskās īpašības, gan arī nodrošina apstākļus sakausējuma fāžu veidošanai; un augstākas enerģijas jonu bombardēšana rada arī zināmu jonu implantācijas un jonu staru sajaukšanās efektu.
2. Jonu pārklājums rada labu apejošo starojumu augstāka spiediena gadījumā (lielāks vai vienāds ar 1 Pa), jonizētiem tvaika joniem vai molekulām ceļā uz substrātu pirms gāzes molekulām rodas vairākas sadursmes, tāpēc plēves daļiņas var tikt izkliedētas pa substrātu, tādējādi uzlabojot plēves slāņa pārklājumu; un jonizētās plēves daļiņas elektriskā lauka ietekmē nogulsnēsies uz substrāta virsmas ar negatīvu spriegumu jebkurā substrāta virsmas pozīcijā ar negatīvu spriegumu, ko nevar panākt ar iztvaikošanas pārklāšanu.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 12. janvāris