Lyginant su garinimu ir dulkių dengimu, svarbiausias joninio dengimo bruožas yra tas, kad energingi jonai bombarduoja pagrindą ir plėvelės sluoksnį nusodinimo metu. Įkrautų jonų bombardavimas sukelia daugybę efektų, daugiausia tokių.
1. Membranos ir pagrindo sukibimo jėga (sukibimas) yra stipri, plėvelės sluoksnis nėra lengvai nuimamas dėl jonų bombardavimo, kurį sukelia dulkinimo efektas, todėl substratas yra valomas, aktyvuojamas ir kaitinamas, ne tik pašalinant dujų adsorbciją substrato paviršiuje ir užterštą sluoksnį, bet ir pašalinant substrato oksidus iš paviršiaus. Jonų bombardavimo metu kaitinimas ir defektai gali atsirasti dėl padidėjusio substrato difuzijos efekto, kuris pagerina substrato paviršinio sluoksnio kristalines savybes, bet ir sudaro sąlygas lydinio fazių susidarymui; didesnės energijos jonų bombardavimas taip pat sukuria tam tikrą jonų implantacijos ir jonų pluošto maišymo efektą.
② Jonų danga, esant didesniam arba lygiam 1 Pa slėgiui, gerai praleidžia spinduliuotę, todėl jonizuoti garų jonai arba molekulės, prieš tai pasiekdamos pagrindą, susiduria su daugybe susidūrimų su dujų molekulėmis, todėl plėvelės dalelės gali būti išsklaidytos aplink pagrindą, taip pagerinant plėvelės sluoksnio padengimą; o jonizuotos plėvelės dalelės, veikiant elektriniam laukui, taip pat nusėda ant pagrindo paviršiaus su neigiama įtampa bet kurioje pagrindo paviršiaus vietoje su neigiama įtampa, kurios negalima pasiekti garinant dengimą.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. sausio 12 d.