① Jonų pluošto pagalba nusodinimo technologija pasižymi stipriu plėvelės ir pagrindo sukibimu, todėl plėvelės sluoksnis yra labai tvirtas. Eksperimentai parodė, kad jonų pluošto pagalba nusodinimo sukibimas yra kelis kartus didesnis nei terminio garinimo būdu nusodinimo, daugiausia dėl jonų bombardavimo valymo efekto paviršiuje, todėl membranos pagrindo sąsaja sudaro gradientinę tarpsluoksninę struktūrą arba hibridinį pereinamąjį sluoksnį, taip sumažinant membranos įtempimą.
② Jonų pluošto pagalba nusodinimas gali pagerinti plėvelės mechanines savybes, pailginti jos tarnavimo laiką, todėl labai tinka oksidų, karbidų, kubinio BN, TiB ir deimantinių dangų gamybai. Pavyzdžiui, karščiui atspariame pliene, naudojant jonų pluošto pagalba nusodinimo technologiją, išauginta 200 nm storio SiN plona plėvelė, ne tik gali slopinti nuovargio įtrūkimų atsiradimą medžiagos paviršiuje, bet ir žymiai sumažinti nuovargio įtrūkimų sklaidos greitį, pailgindamas jos tarnavimo laiką.
③ Jonų pluošto pagalba nusodinant galima pakeisti plėvelės įtempių pobūdį ir jos kristalinę struktūrą. Pavyzdžiui, gaminant Cr plėvelę, substrato paviršių bombarduojant 11,5 keV Xe+ arba Ar+ energija, nustatyta, kad keičiant substrato temperatūrą, bombardavimo jonų energiją, jonų ir atomų atvykimo santykį bei kitus parametrus, įtempis gali pasikeisti nuo tempimo iki gniuždymo įtempio, o plėvelės kristalinė struktūra taip pat pasikeis. Esant tam tikram jonų ir atomų santykiui, jonų pluošto pagalba nusodintas sluoksnis pasižymi geresne selektyvia orientacija nei terminio garinimo būdu nusodintas membraninis sluoksnis.
④ Jonų pluošto pagalba nusodinimas gali padidinti membranos atsparumą korozijai ir oksidacijai. Kadangi jonų pluošto pagalba nusodinamas membranos sluoksnis yra tankus, pagerėja membranos pagrindo sąsajos struktūra arba susidaro amorfinė būsena, išnykstant grūdelių ribai tarp dalelių, o tai prisideda prie medžiagos atsparumo korozijai ir oksidacijai padidėjimo.
Padidinkite medžiagos atsparumą korozijai ir atsispirkite aukštos temperatūros oksidaciniam poveikiui.
(5) Jonų pluošto pagalba nusodinimas gali pakeisti plėvelės elektromagnetines savybes ir pagerinti optinių plonų plėvelių charakteristikas. (6) Jonų pagalba nusodinimas leidžia auginti įvairias plonas plėveles žemoje temperatūroje ir išvengti neigiamo poveikio medžiagoms ar tikslioms detalėms, kuris atsirastų apdorojant aukštoje temperatūroje, nes su atominiu nusodinimu ir jonų implantacija susijusius parametrus galima tiksliai ir nepriklausomai reguliuoti, o kelių mikrometrų storio, vienodos sudėties dangas galima nuolat generuoti esant mažoms bombardavimo energijoms.
Įrašo laikas: 2024 m. kovo 7 d.