Буулантуучу каптоо жана чачыратуу менен жабуу менен салыштырганда, иондук каптоодо эң маанилүү өзгөчөлүгү - бул энергетикалык иондор субстратты жана пленка катмарын каптоо учурунда бомбалайт. Заряддалган иондорду бомбалоо, негизинен, төмөнкүдөй бир катар эффекттерди жаратат.
① Мембрананы/базаны бириктирүүчү күч (адгезия) күчтүү, пленка катмары чачыратуу эффектинин натыйжасында пайда болгон субстраттын иондук бомбалоосунан улам оңой түшпөйт, ошондуктан субстраттын бетиндеги газдын адсорбциясын жоюу үчүн гана эмес, субстраттын жана булганган катмардын кычкылдуулугун да жок кылуу үчүн субстрат тазаланып, активдешип, жылытылат. жылытуу жана кемчиликтердин Ion бомбалоо субстрат күчөтүлгөн диффузиялык таасири менен шартталган болушу мүмкүн, субстрат беттик катмарын уюштуруу кристаллдык касиеттерин жакшыртуу үчүн да, ошондой эле эритме этаптарын түзүү үчүн шарттарды камсыз кылат; жана жогорку энергия ион бомбалоо, бирок ошондой эле ион имплантациялоо жана ион нур аралаштыруу таасирин белгилүү бир өлчөмдө өндүрөт.
② Жогорку басымда (1Падан жогору же барабар) жакшы айланып өтүүчү нурланууну пайда кылган иондук каптоо газ молекулалары бир катар кагылышууларга туш боло электе субстратка бара жаткан иондошкан буу иондору же молекулалары болуп саналат, ошондуктан пленка бөлүкчөлөрү субстраттын айланасына чачырап кетиши мүмкүн; жана иондоштурулган пленка бөлүкчөлөрү да терс чыңалуудагы субстраттын бетине электр талаасынын таасири астында жайгаштырылат.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 2024-жылдын 12-январына чейин