Li gorî plakaya buharkirinê û plakaya sputterkirinê, taybetmendiya herî girîng a plakaya îyonî ev e ku îyonên enerjîk di dema danînê de substrat û qata fîlmê bombebaran dikin. Bombebarankirina îyonên barkirî rêzek bandoran çêdike, bi giranî wiha ne.
① Hêza girêdana parzûn/bingehê (zeliqandin) xurt e, qata fîlmê ji ber bombebarana îyonan a substratê ku ji ber bandora sputterkirinê çêdibe, bi hêsanî nayê hilweşandin, ji ber vê yekê substrat tê paqijkirin, çalakkirin û germkirin, ne tenê ji bo rakirina adsorpsiyona gazê li ser rûyê substratê û qata qirêj, lê di heman demê de ji bo rakirina oksîdên rûyê substratê jî. Germkirin û kêmasiyên bombebarana îyonan dikarin ji ber bandora belavbûna zêde ya substratê çêbibin, hem taybetmendiyên krîstalî yên rêxistina qata rûyê substratê baştir dikin, lê di heman demê de şert û mercên ji bo çêbûna qonaxên alloy peyda dikin; û bombebarana îyonan a enerjiya bilindtir, lê di heman demê de mîqdarek diyarkirî ya çandina îyonan û bandora tevlihevkirina tîrêjên îyonan jî çêdike.
② Pêçandina îyonê ji ber ku di rewşa zexta bilindtir (ji 1Pa mezintir an jî wekhev) de tîrêjek derbasbûnê ya baş çêdike, îyon an molekulên buhara îyonîzekirî di rêwîtiya xwe ya ber bi substratê de berî ku molekulên gazê rastî hejmarek pevçûnan werin, ji ber vê yekê perçeyên fîlmê dikarin li dora substratê belav bibin, bi vî rengî nixumandina qata fîlmê çêtir dike; û perçeyên fîlma îyonîzekirî jî dê di bin bandora qada elektrîkê de li ser rûyê substratê bi voltaja neyînî werin danîn. Her pozîsyonek li ser rûyê substratê bi voltaja neyînî, ku bi plakaya buharkirinê nayê bidestxistin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 12ê rêbendana 2024an