① Teknolojiya danîna bi alîkariya tîrêjên îyonî bi girêdana xurt a di navbera fîlm û substratê de tê xuyang kirin, qata fîlmê pir xurt e. Ceribandin nîşan dane ku: girêdana danîna bi alîkariya tîrêjên îyonî ji girêdana danîna buxara germî çend caran heta bi sedan caran zêde bûye, sedema vê yekê bi giranî ji ber bombebarana îyonan li ser rûyê bandora paqijkirinê ye, da ku navbeynkariya bingeha parzûnê avahiyek navbeynkariya gradient, an qata veguhêz a hîbrîd çêbike, û her weha zexta parzûnê kêm bike.
② Depozîtasyona bi alîkariya tîrêjên îyonê dikare taybetmendiyên mekanîkî yên fîlmê baştir bike, temenê westandinê dirêj bike, ji bo amadekirina oksîd, karbîd, BN kubîk, TiB: û pêçanên mîna elmasê pir guncaw e. Mînakî, di pola germê-berxwedêr a 1Crl8Ni9Ti de, teknolojiya depozîtasyona bi alîkariya tîrêjên îyonê ji bo mezinbûna fîlma zirav a 200nm SiN, ne tenê dikare derketina holê ya şikestinên westandinê li ser rûyê materyalê asteng bike, lê di heman demê de dikare rêjeya belavbûna şikestinên westandinê jî bi girîngî kêm bike, ji bo dirêjkirina temenê wê roleke baş dilîze.
③ Depozîtasyona bi alîkariya tîrêjên îyonê dikare xwezaya stresê ya fîlmê û avahiya wê ya krîstalî biguherîne. Bo nimûne, amadekirina fîlma Cr bi bombebarana 11.5keV Xe+ an Ar+ a rûyê substratê, hat dîtin ku sererastkirina germahiya substratê, enerjiya îyonê ya bombebaranê, rêjeya hatina îyon û atomê û parametreyên din, dikare stresê ji kişandinê ber bi stresa zextê veguhezîne, avahiya krîstalî ya fîlmê jî dê guhertinan çêbike. Di bin rêjeyek diyarkirî ya îyon-atom de, depozîtasyona bi alîkariya tîrêjên îyonê xwedî arasteya bijartî ya çêtir e ji qata parzûnê ya ku bi depozîtasyona buhara germî ve hatî razandin.
④ Depokirina bi alîkariya tîrêjên îyonî dikare berxwedana korozyonê û berxwedana oksîdasyonê ya perdeyê zêde bike. Ji ber ku depokirina qata perdeyê ya bi alîkariya tîrêjên îyonî tîr e, avahiya navrûya bingeha perdeyê baştir dibe an jî sînorê dendikê di navbera perçeyan de winda dibe, ku ev yek jî dibe sedema baştirkirina berxwedana korozyonê û berxwedana oksîdasyonê ya materyalê.
Berxwedana korozyonê ya materyalê zêde bikin û li hember bandora oksîdasyonê ya germahiya bilind bisekinin.
(5) Depozkirina bi alîkariya tîrêjên îyonê dikare taybetmendiyên elektromagnetîk ên fîlmê biguherîne û performansa fîlmên tenik ên optîkî baştir bike. (6) Depozkirina bi alîkariya îyonê rê dide mezinbûna cûrbecûr fîlmên tenik di germahiyên nizm de û bandorên neyînî yên li ser materyalan an perçeyên rast ên ku ji ber dermankirinê di germahiyên bilind de çêdibin dûr dixe, ji ber ku parametreyên têkildarî depozkirina atomî û çandina îyonê dikarin bi rast û serbixwe werin verast kirin, û pêçanên çend mîkrometreyan bi pêkhateyek domdar dikarin bi berdewamî di enerjiyên bombebarana nizm de werin çêkirin.
Dema şandinê: Adar-07-2024