증착 도금이나 스퍼터링 도금과 비교할 때, 이온 플레이팅의 가장 중요한 특징은 증착이 진행되는 동안 고에너지 이온이 기판과 박막층에 충격을 가한다는 것입니다. 대전된 이온의 충격은 주로 다음과 같은 일련의 효과를 냅니다.
① 멤브레인/베이스 결합력(접착력)이 강하여 스퍼터링 효과에 의해 기판에 이온이 충돌하여 박막층이 쉽게 떨어지지 않습니다. 따라서 기판을 세척, 활성화 및 가열하여 기판 표면의 가스 흡착 및 오염층을 제거할 뿐만 아니라 기판 표면의 산화물도 제거합니다. 이온 충돌은 기판의 확산 효과를 향상시켜 기판 표면층의 결정 특성을 개선하고 합금상 형성 조건을 제공합니다. 또한, 고에너지 이온 충돌은 일정량의 이온 주입 및 이온 빔 혼합 효과를 생성합니다.
② 이온 코팅은 고압(1Pa 이상)에서 우수한 우회 복사선을 생성하기 때문에 이온화된 증기 이온 또는 분자가 기판으로 이동하는 동안 가스 분자가 여러 번 충돌하기 전에 기판 주위에 분산되어 필름 입자가 필름 층의 적용 범위를 개선할 수 있습니다. 또한 이온화된 필름 입자는 음전압을 인가한 기판 표면의 전기장의 작용으로 증착됩니다. 음전압을 인가한 기판 표면의 임의의 위치에 증착되는데, 이는 증발 도금으로는 달성할 수 없습니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 1월 12일