បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងការរំហួត និងបន្ទះស្ពែម លក្ខណៈពិសេសសំខាន់បំផុតនៃការដាក់អ៊ីយ៉ុងគឺថា អ៊ីយ៉ុងដ៏ស្វាហាប់បានទម្លាក់ស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រទាប់ហ្វីល ខណៈពេលដែលការរលាយកើតឡើង។ ការទម្លាក់គ្រាប់បែកនៃអ៊ីយ៉ុងដែលត្រូវបានចោទប្រកាន់បង្កើតជាស៊េរីនៃផលប៉ះពាល់ជាចម្បងដូចខាងក្រោម។
① Membrane / base bonding force (adhesion) ខ្លាំង ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមិនងាយធ្លាក់ទេ ដោយសារតែការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបង្កើតដោយឥទ្ធិពល sputtering ដូច្នេះស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានសម្អាត ធ្វើឱ្យសកម្ម និងឡើងកំដៅ មិនត្រឹមតែអាចយកចេញ adsorption នៃឧស្ម័ននៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រទាប់រងនៃអុកស៊ីតកម្មប៉ុណ្ណោះទេ។ ការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងនៃការឡើងកំដៅនិងពិការភាពអាចបណ្តាលមកពីឥទ្ធិពលនៃការសាយភាយប្រសើរឡើងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមទាំងពីរដើម្បីកែលម្អលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រីស្តាល់នៃអង្គការស្រទាប់ផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមប៉ុន្តែក៏ផ្តល់នូវលក្ខខណ្ឌសម្រាប់ការបង្កើតដំណាក់កាលយ៉ាន់ស្ព័រ។ និងការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ជាង ប៉ុន្តែក៏បង្កើតបរិមាណជាក់លាក់នៃការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង និងឥទ្ធិពលលាយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងផងដែរ។
② ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងដោយសារផលិតវិទ្យុសកម្មឆ្លងកាត់បានល្អក្នុងករណីមានសម្ពាធខ្ពស់ (ធំជាង ឬស្មើ 1Pa) គឺជាអ៊ីយ៉ុងចំហាយអ៊ីយ៉ុង ឬម៉ូលេគុលក្នុងការធ្វើដំណើរទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោម មុនពេលម៉ូលេគុលឧស្ម័ននឹងជួបប្រទះការប៉ះទង្គិចគ្នាជាច្រើន ដូច្នេះភាគល្អិតខ្សែភាពយន្តអាចខ្ចាត់ខ្ចាយនៅជុំវិញស្រទាប់ខាងក្រោម ដូច្នេះការកែលម្អស្រទាប់គ្របដណ្តប់។ ហើយភាគល្អិតនៃខ្សែភាពយន្ត ionized ក៏នឹងត្រូវបានដាក់នៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គិសនីលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមជាមួយនឹងវ៉ុលអវិជ្ជមាន ទីតាំងណាមួយនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមជាមួយនឹងវ៉ុលអវិជ្ជមាន ដែលមិនអាចសម្រេចបានដោយការហួតបន្ទះ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មករា-១២-២០២៤