បច្ចេកវិទ្យាបំប្លែងអ៊ីយ៉ុង

① បច្ចេកវិជ្ជាបន្ទោរបង់ដោយជំនួយពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយភាពស្អិតជាប់រវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមានភាពរឹងមាំខ្លាំង។ ការពិសោធន៍បានបង្ហាញថា៖ ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងជួយដល់ការកកកុញនៃ adhesion ជាងការ adhesion នៃចំហាយកំដៅកើនឡើងច្រើនដងទៅរាប់រយដង ហេតុផលចម្បងគឺដោយសារការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងលើផ្ទៃនៃឥទ្ធិពលសំអាត ដូច្នេះ ចំណុចប្រទាក់មូលដ្ឋានភ្នាសដើម្បីបង្កើតជារចនាសម្ព័ន្ធអន្តរផ្ទៃជម្រាល ឬស្រទាប់អន្តរកាលកូនកាត់ ក៏ដូចជាកាត់បន្ថយភាពតានតឹងនៃភ្នាស។

② ការដាក់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចនៃខ្សែភាពយន្ត ពន្យារអាយុភាពនឿយហត់ ស័ក្តិសមសម្រាប់ការរៀបចំអុកស៊ីដ កាបូនឌីអុកស៊ីត គូប BN ទីប៊ី៖ និងថ្នាំកូតដូចពេជ្រ។ ឧទាហរណ៍នៅក្នុងដែកថែបធន់នឹងកំដៅ 1Crl8Ni9Ti លើការប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យា ion beam-assisted deposition technology ដើម្បីបង្កើន 200nm SiN ខ្សែភាពយន្តស្តើងមិនត្រឹមតែអាចទប់ស្កាត់ការលេចចេញនៃស្នាមប្រេះដែលអស់កម្លាំងលើផ្ទៃសម្ភារៈប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងអាចកាត់បន្ថយអត្រានៃការសាយភាយភាពអស់កម្លាំងបានយ៉ាងសំខាន់ ដើម្បីពន្យារអាយុជីវិតរបស់វាផងដែរ។

③ ការដាក់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចផ្លាស់ប្តូរធម្មជាតិនៃភាពតានតឹងនៃខ្សែភាពយន្ត និងការផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់របស់វា។ ឧទាហរណ៍ការរៀបចំនៃខ្សែភាពយន្ត Cr ជាមួយ 11.5keV Xe + ឬ Ar + ការទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមបានរកឃើញថាការលៃតម្រូវសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមថាមពលអ៊ីយ៉ុងទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងនិងសមាមាត្រការមកដល់នៃអាតូមនិងប៉ារ៉ាម៉ែត្រផ្សេងទៀតអាចធ្វើឱ្យភាពតានតឹងពី tensile ទៅភាពតានតឹងបង្ហាប់រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់នៃខ្សែភាពយន្តនេះក៏នឹងបង្កើតការផ្លាស់ប្តូរផងដែរ។ នៅក្រោមសមាមាត្រជាក់លាក់នៃអ៊ីយ៉ុងទៅនឹងអាតូម ការទម្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដែលមានជំនួយមានទិសដៅជ្រើសរើសប្រសើរជាងស្រទាប់ភ្នាសដែលដាក់ដោយចំហាយកំដៅ។

④ ការដាក់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចជួយបង្កើនភាពធន់នឹងការច្រេះ និងធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃភ្នាស។ ដោយសារធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដែលបានជួយដល់ការទម្លាក់ស្រទាប់ភ្នាសគឺក្រាស់ ការកែលម្អរចនាសម្ព័ន្ធចំណុចប្រទាក់មូលដ្ឋានភ្នាស ឬការបង្កើតស្ថានភាពអាម៉ូហ្វដែលបណ្តាលមកពីការបាត់ខ្លួននៃព្រំដែនគ្រាប់ធញ្ញជាតិរវាងភាគល្អិត ដែលអំណោយផលដល់ការពង្រឹងភាពធន់នឹងការ corrosion និងធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃសម្ភារៈ។

បង្កើនភាពធន់ទ្រាំ corrosion នៃសម្ភារៈនិងទប់ទល់នឹងឥទ្ធិពលអុកស៊ីតកម្មនៃសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

(5) ការដាក់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៃខ្សែភាពយន្ត និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្តស្តើងអុបទិក។ (6) ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងជំនួយអនុញ្ញាតឱ្យការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងផ្សេងៗនៅសីតុណ្ហភាពទាប និងជៀសវាងផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមានលើវត្ថុធាតុ ឬផ្នែកជាក់លាក់ដែលនឹងបណ្តាលមកពីការព្យាបាលនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ចាប់តាំងពីប៉ារ៉ាម៉ែត្រដែលទាក់ទងនឹងការទម្លាក់អាតូមិក និងការបញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងអាចត្រូវបានកែតម្រូវបានត្រឹមត្រូវ និងដោយឯករាជ្យ ហើយថ្នាំកូតនៃមីក្រូម៉ែត្រមួយចំនួនដែលមានសមាសធាតុជាប់លាប់អាចបង្កើតបានជាបន្តបន្ទាប់នៅពេលទម្លាក់គ្រាប់បែក។