Буланумен қаптаумен және шашыратқышпен қаптаумен салыстырғанда, ионды қаптаманың ең маңызды ерекшелігі - энергетикалық иондардың тұндыру кезінде субстрат пен пленка қабатын бомбалауы. Зарядталған иондарды бомбалау негізінен төмендегідей әсерлер қатарын тудырады.
① Мембрананы/негізді байланыстыру күші (адгезия) күшті, пленка қабаты шашырату әсерінен пайда болатын субстраттың иондық бомбалауына байланысты оңай құлап кетпейді, осылайша субстрат тазаланады, белсендіріледі және қыздырылады, бұл субстрат бетіндегі газдың адсорбциясын және ластанған қабатын жою үшін ғана емес, сонымен қатар субстрат бетіндегі тотықты кетіру үшін. Қыздыру мен ақаулардың иондық бомбалауы субстраттың күшейтілген диффузиялық әсерінен туындауы мүмкін, субстраттың беткі қабатын ұйымдастырудың кристалдық қасиеттерін жақсарту үшін де, сонымен қатар қорытпа фазаларының қалыптасуы үшін жағдайларды қамтамасыз етеді; және жоғары энергия иондық бомбалау, сонымен қатар ион имплантациясының белгілі бір мөлшерін және ион сәулесін араластыру әсерін тудырады.
② Жоғары қысым (1Па-дан жоғары немесе оған тең) жағдайда жақсы айналып өтетін сәуле шығаруға байланысты иондық жабын иондалған бу иондары немесе молекулалар субстратқа барған кезде газ молекулалары бірқатар соқтығыстарға тап болады, сондықтан пленка бөлшектері субстрат қабатының айналасында шашыраңқы болуы мүмкін; және иондалған пленка бөлшектері теріс кернеуі бар субстрат бетіндегі электр өрісінің әсерінен де тұндырылады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 12 қаңтар 2024 ж