① Иондық сәуленің көмегімен тұндыру технологиясы пленка мен субстрат арасындағы күшті адгезиямен сипатталады, пленка қабаты өте берік. Тәжірибе көрсеткендей: иондық сәуленің көмегімен адгезияны тұндыру термиялық бу тұндыру адгезиясына қарағанда бірнеше еседен жүздеген есеге дейін өсті, себебі негізінен тазарту әсерінің бетіндегі иондық бомбалаумен байланысты, осылайша мембраналық базаның интерфейсі градиент аралық құрылымды немесе гибридті өтпелі қабатты құрайды, сондай-ақ мембрана кернеуін азайту үшін.
② Иондық сәуленің көмегімен тұндыру пленканың механикалық қасиеттерін жақсартады, шаршау мерзімін ұзартады, оксидтерді, карбидтерді, текше BN, TiB: және алмас тәрізді жабындарды дайындау үшін өте қолайлы. Мысалы, 1Crl8Ni9Ti ыстыққа төзімді болаттан 200 нм SiN, жұқа пленканы өсіру үшін иондық сәуленің көмегімен тұндыру технологиясын қолдану материалдың бетінде шаршау жарықтарының пайда болуын тежеп қана қоймайды, сонымен қатар оның қызмет ету мерзімін ұзарту үшін шаршау жарықтарының диффузия жылдамдығын айтарлықтай төмендете алады.
③ Иондық сәуленің көмегімен тұндыру пленканың кернеу сипатын және оның кристалдық құрылымын өзгертуі мүмкін. Мысалы, субстрат бетін 11,5кВ Xe + немесе Ar + бомбалауымен Cr пленкасын дайындау, субстрат температурасын, бомбалау ионының энергиясын, ион мен атомның келу коэффициентін және басқа параметрлерді реттеу кернеуді созылудан қысу кернеуіне дейін жасай алатынын анықтады, пленканың кристалдық құрылымы да өзгерістер тудырады. Иондардың атомдарға белгілі бір арақатынасы кезінде ион сәулесінің көмегімен тұндыру термиялық бу тұндыруымен тұндырылған мембраналық қабатқа қарағанда жақсы таңдамалы бағдарға ие болады.
④ Иондық сәуленің көмегімен тұндыру мембрананың коррозияға төзімділігін және тотығуға төзімділігін арттыруы мүмкін. Мембраналық қабаттың иондық сәуленің көмегімен тұндыру тығыз болғандықтан, мембрана негізінің интерфейс құрылымы жақсарады немесе бөлшектер арасындағы түйіршік шекарасының жоғалуынан туындаған аморфты күйдің пайда болуы материалдың коррозияға төзімділігі мен тотығуға төзімділігін арттыруға ықпал етеді.
Материалдың коррозияға төзімділігін арттырыңыз және жоғары температураның тотықтырғыш әсеріне қарсы тұрыңыз.
(5) Иондық сәуленің көмегімен тұндыру пленканың электромагниттік қасиеттерін өзгерте алады және оптикалық жұқа қабықшалардың жұмысын жақсартады. (6) Ион көмегімен тұндыру төмен температурада әртүрлі жұқа қабықшалардың өсуіне мүмкіндік береді және жоғары температурада өңдеуден болатын материалдарға немесе дәл бөлшектерге жағымсыз әсерлерден аулақ болады, өйткені атомдық тұндыру мен иондарды имплантациялауға қатысты параметрлерді дәл және тәуелсіз реттеуге болады, сондай-ақ тұрақты құрамы бар бірнеше микрометрлік жабындар төмен бомбалау кезінде үздіксіз жасалуы мүмкін.
Жіберу уақыты: 07 наурыз 2024 ж