აორთქლებით და გაფრქვევით დამუშავებასთან შედარებით, იონური დამუშავების ყველაზე მნიშვნელოვანი მახასიათებელი ის არის, რომ ენერგიული იონები ბომბავენ სუბსტრატს და აპკის ფენას დალექვის დროს. დამუხტული იონების დაბომბვა იწვევს ეფექტების სერიას, ძირითადად შემდეგნაირად.
① მემბრანა/ფუძის შემაკავშირებელი ძალა (ადჰეზია) ძლიერია, აპკის ფენა ადვილად არ იშლება გაფრქვევის ეფექტის შედეგად წარმოქმნილი სუბსტრატის იონური დაბომბვის გამო, რის შედეგადაც სუბსტრატი იწმინდება, აქტიურდება და თბება, არა მხოლოდ სუბსტრატის ზედაპირზე და დაბინძურებულ ფენაზე გაზის ადსორბციის მოსაშორებლად, არამედ სუბსტრატის ზედაპირის ოქსიდების მოსაშორებლადაც. იონური დაბომბვის გაცხელება და დეფექტები შეიძლება გამოწვეული იყოს სუბსტრატის გაძლიერებული დიფუზიური ეფექტით, რაც აუმჯობესებს როგორც სუბსტრატის ზედაპირული ფენის ორგანიზაციის კრისტალურ თვისებებს, ასევე ქმნის პირობებს შენადნობის ფაზების ფორმირებისთვის; და მაღალი ენერგიის იონური დაბომბვით, ასევე წარმოქმნის გარკვეული რაოდენობის იონური იმპლანტაციას და იონური სხივის შერევის ეფექტს.
② იონური საფარი კარგი გვერდის ავლით გამოსხივებას წარმოქმნის მაღალი წნევის (1Pa-ზე მეტი ან ტოლი) შემთხვევაში, იონიზებული ორთქლის იონები ან მოლეკულები სუბსტრატისკენ მიმავალ გზაზე აირის მოლეკულებთან რამდენიმე შეჯახებას განიცდიან, რის გამოც აპკის ნაწილაკები შეიძლება გაიფანტოს სუბსტრატის გარშემო, რითაც გაუმჯობესდება აპკის ფენის დაფარვა; იონიზებული აპკის ნაწილაკები ასევე დაილექება ელექტრული ველის ზემოქმედებით სუბსტრატის ზედაპირზე უარყოფითი ძაბვით. სუბსტრატის ზედაპირზე უარყოფითი ძაბვის მქონე ნებისმიერი პოზიცია, რომლის მიღწევაც აორთქლების მოპირკეთებით შეუძლებელია, შეუძლებელია.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 12 იანვარი