ציפוי יוני ואקום

ציפוי יונים בוואקום (המכונה ציפוי יונים) הוא טכנולוגיית טיפול פני שטח שהוצעה על ידי חברת Somdia בארצות הברית בשנת 1963, בשנות ה-70 חלה התפתחות מהירה של טכנולוגיית טיפול פני שטח חדשה. הכוונה היא לשימוש במקור אידוי או מטרת התזה באטמוספירת ואקום, כך שחומר הסרט מתאדה או מתזה, וחלקיקים בחלל פריקת הגז מיונים ליוני מתכת.

חלקיקים אלה מופקדים על המצע תחת פעולת שדה חשמלי ליצירת תהליך של שכבה דקה.

ציפוי יונים בוואקום מסוגים רבים, בדרך כלל בהתאם לחומר הממברנה שממנו מייצרים את מקור היונים, מחולק לשני סוגים: ציפוי יונים מסוג מקור אידוי וציפוי יונים מסוג מטרה באמצעות התזה. הראשון הוא אידוי על ידי חימום חומר הסרט ליצירת אדי מתכת, כך שהוא מיונן חלקית לאדי מתכת ולאטומים ניטרליים בעלי אנרגיה גבוהה בחלל הפלזמה של פריקת הגז, באמצעות תפקיד השדה החשמלי להגיע למצע ויוצר שכבות דקות; השני הוא שימוש ביונים בעלי אנרגיה גבוהה (למשל, Ar+) על פני חומר הסרט כדי לגרום להתזה של החלקיקים החוצה דרך חלל פריקת הגז ליונים או אטומים ניטרליים בעלי אנרגיה גבוהה, כדי להגיע לפני השטח של המצע וליצור את הסרט.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה