בהשוואה לציפוי באידוי וציפוי בהתזה, המאפיין החשוב ביותר של ציפוי יונים הוא שהיונים האנרגטיים מפגיזים את המצע ואת שכבת הסרט בזמן שהשקיעה מתרחשת. הפצצת היונים הטעונים מייצרת סדרה של השפעות, בעיקר כדלקמן.
① כוח ההדבקה (הידבקות) בין הממברנה לבסיס חזק, ושכבת הסרט אינה נופלת בקלות עקב אפקט ההתזה של הפגזת יונים על המצע. כך המצע מנוקה, מופעל ומחומם, לא רק כדי להסיר את ספיגת הגז על פני המצע והשכבה המזוהמת, אלא גם כדי להסיר תחמוצות מפני השטח של המצע. הפגזת יונים ופגמים יכולים להיגרם עקב אפקט דיפוזיה משופר של המצע, הן כדי לשפר את התכונות הגבישיות של ארגון שכבת פני השטח של המצע, והן כדי לספק את התנאים להיווצרות פאזות סגסוגת; והפגזת יונים בעלת אנרגיה גבוהה יותר, אך גם מייצרת כמות מסוימת של השתלת יונים ואפקט ערבוב אלומת יונים.
② ציפוי יונים נועד לייצר קרינה עוקפת טובה במקרה של לחץ גבוה (גדול או שווה ל-1Pa). יונים או מולקולות אדים מיוננים במסעם אל המצע לפני שמולקולות הגז יתנגשו במספר רב של מולקולות, כך שחלקיקי הסרט יתפזרו סביב המצע, ובכך ישפרו את כיסוי שכבת הסרט; וחלקיקי הסרט המיוננים יופקדו גם הם תחת פעולת השדה החשמלי על פני המצע עם מתח שלילי בכל מיקום על פני המצע עם מתח שלילי, דבר שלא ניתן להשיג באמצעות ציפוי אידוי.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 12 בינואר 2024