Tómarúmjónahúðun (einnig þekkt sem jónhúðun) er kenning sem DM Mattox, fyrirtækið Somdia, lagði til í Bandaríkjunum árið 1963. Á áttunda áratugnum þróaðist ný yfirborðsmeðferðartækni hratt. Það vísar til notkunar á uppgufunarlindum eða spúttunarmarkmiðum í lofttæmi, þar sem hluti agnanna í lofttæmisloftinu gufar upp eða spúttar upp filmuefnið og hlutar þeirra jónast í málmjónir í gasútblástursrýminu.
Þessar agnir eru settar á undirlagið undir áhrifum rafsviðs til að mynda þunnfilmuferli.
Margar gerðir af lofttæmisjónhúðun eru til staðar, og eru venjulega skipt í tvo flokka eftir því hvaða himnuefni jóngjafann er notaður til að framleiða: jónhúðun með uppgufunargjafa og jónhúðun með spútrun. Í fyrri flokknum er filmuefnið uppgufað með því að hita það til að mynda málmgufur, þannig að það jónast að hluta til í málmgufur og orkuríkar hlutlausar atóm í plasmarými gasútblástursins. Þetta gerir þunnar filmur myndaðar með því að nota rafsvið til að ná til undirlagsins. Í seinni flokknum eru orkuríkar jónir (t.d. Ar+) notaðar til að sprengja yfirborð filmuefnisins og valda spútrun þar sem agnirnar fara í gegnum gasútblástursrýmið og jónast í jónir eða orkuríkar hlutlausar atóm, sem ná til yfirborðs undirlagsins.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 7. mars 2024