Í samanburði við uppgufunarhúðun og spúttunarhúðun er mikilvægasti eiginleiki jónahúðunar að orkumiklar jónir skjóta á undirlagið og filmulagið á meðan útfelling á sér stað. Áhrif hlaðinna jóna eru aðallega eftirfarandi.
① Límkraftur himnu/grunns (viðloðun) er sterkur og filmulagið fellur ekki auðveldlega af vegna jónaáhrifa sem myndast við spúttunaráhrif undirlagsins. Þannig hreinsast, virkjast og hitast undirlagið. Þetta fjarlægir ekki aðeins aðsog gassins á yfirborð undirlagsins og mengað lag, heldur fjarlægir einnig oxíð á yfirborði undirlagsins. Aukin dreifingaráhrif undirlagsins geta valdið upphitun og galla, bæði til að bæta kristallaeiginleika yfirborðslagsins og skapa skilyrði fyrir myndun málmblöndufasa. Aukinn orkunotkun jónaáhrifa veldur einnig ákveðinni jónígræðslu og jóngeislablöndun.
② Jónhúðun veldur góðri framhjágeislun við hærri þrýsting (meiri en eða jafnt og 1 Pa). Þar sem jónískar gufur eða sameindir lenda í nokkrum árekstri á leið sinni að undirlaginu, geta filmuagnirnar dreifst um undirlagið og þannig bætt þekju filmulagsins. Jónískar filmuagnirnar munu einnig falla undir áhrifum rafsviðsins á yfirborð undirlagsins með neikvæða spennu. Þetta er ekki hægt að ná með uppgufunarhúðun.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 12. janúar 2024