① Jóngeislaaðstoðuð útfellingartækni einkennist af sterkri viðloðun milli filmunnar og undirlagsins, og filmulagið er mjög sterkt. Tilraunir hafa sýnt að: viðloðun jóngeislaaðstoðuð útfellingar eykur viðloðun nokkrum sinnum til hundruðfaldra breytinga en viðloðun varmaútfellingar. Ástæðan er aðallega vegna hreinsunaráhrifa jónaáhrifa á yfirborðið, sem veldur því að grunnviðmót himnunnar myndar hallalaga viðmótsbyggingu eða blönduð umbreytingarlag, sem og dregur úr álagi á himnuna.
② Jóngeislaaðstoðuð útfelling getur bætt vélræna eiginleika filmunnar, lengt þreytuþol hennar, mjög hentug til framleiðslu á oxíðum, karbíðum, teningsbundnum BN, TiB: og demantslíkum húðunum. Til dæmis, í 1Crl8Ni9Ti hitaþolnu stáli, er 200nm SiN þunnfilma notuð til að rækta jóngeislaaðstoðaða útfellingartækni, sem ekki aðeins getur hindrað myndun þreytusprungna á yfirborði efnisins, heldur einnig dregið verulega úr dreifingarhraða þreytusprungnanna og þar með gegnt góðu hlutverki til að lengja líftíma hennar.
③ Jónageislaútfelling getur breytt spennueiginleikum filmunnar og kristallabyggingu hennar breytist. Til dæmis, við undirbúning Cr-filmu með 11,5 keV Xe+ eða Ar+ sprengjuáhrifum á yfirborð undirlagsins, kom í ljós að aðlögun á hitastigi undirlagsins, sprengjuorku jóna, hlutfalli jóna og atóma og öðrum breytum, getur breytt spennunni úr togspennu í þjöppunarspennu, sem mun einnig valda breytingum á kristalbyggingu filmunnar. Við ákveðið hlutfall jóna á móti atómum hefur jónageislaútfellingin betri sértæka stefnu en himnulagið sem er sett með varmagufúpuútfellingu.
④ Útfelling með jóngeisla getur aukið tæringarþol og oxunarþol himnunnar. Þar sem útfelling með jóngeisla á himnulaginu er þéttari, bætir uppbyggingu grunnviðmóts himnunnar eða myndar ókristallað ástand vegna þess að kornamörkin milli agnanna hverfa, sem stuðlar að aukinni tæringarþol og oxunarþol efnisins.
Auka tæringarþol efnisins og standast oxunaráhrif hás hita.
(5) Jónageislaaðstoðuð útfelling getur breytt rafsegulfræðilegum eiginleikum filmunnar og bætt afköst ljósfræðilegra þunnfilma. (6) Jónageislaaðstoðuð útfelling gerir kleift að vaxa ýmsar þunnfilmur við lágt hitastig og forðast skaðleg áhrif á efni eða nákvæmnihluta sem myndu hljótast af meðferð við hátt hitastig, þar sem hægt er að stilla breytur sem tengjast atómútfellingu og jónaígræðslu nákvæmlega og sjálfstætt, og hægt er að mynda húðanir sem eru nokkurra míkrómetrar að stærð með samræmdri samsetningu stöðugt við lága sprengiorku.
Birtingartími: 7. mars 2024