Համեմատած գոլորշիացման և փոշիացման հետ, իոնային ծածկույթի ամենակարևոր առանձնահատկությունն այն է, որ էներգետիկ իոնները ռմբակոծում են հիմքը և թաղանթային շերտը նստեցման ընթացքում: Լիցքավորված իոնների ռմբակոծությունը առաջացնում է մի շարք էֆեկտներ, հիմնականում հետևյալը:
① Մեմբրան/հիմք կապի ուժը (կպչունությունը) ուժեղ է, թաղանթի շերտը հեշտությամբ չի պոկվում հիմքի իոնային ռմբակոծության պատճառով, որը առաջանում է փոշիացման էֆեկտի պատճառով, այնպես որ հիմքը մաքրվում, ակտիվանում և տաքացվում է՝ ոչ միայն հիմքի մակերեսին և աղտոտված շերտին գազի ադսորբցիան հեռացնելու, այլև հիմքի մակերեսին օքսիդները հեռացնելու համար: Իոնային ռմբակոծության տաքացումը և արատները կարող են առաջանալ հիմքի դիֆուզիոն էֆեկտի ուժեղացման պատճառով, որը բարելավում է հիմքի մակերեսային շերտի կազմակերպման բյուրեղային հատկությունները, այլև ստեղծում է պայմաններ համաձուլվածքային փուլերի ձևավորման համար. և բարձր էներգիայի իոնային ռմբակոծություն, բայց նաև առաջացնում է որոշակի քանակությամբ իոնային իմպլանտացիա և իոնային փնջի խառնման էֆեկտ:
② Բարձր ճնշման դեպքում (1Pa կամ ավելի մեծ) իոնային ծածկույթը լավ շրջանցող ճառագայթում է առաջացնում, քանի որ իոնացված գոլորշու իոնները կամ մոլեկուլները հիմքին հասնելու ճանապարհին գազի մոլեկուլներից առաջ մի շարք բախումների են ենթարկվում, ուստի թաղանթի մասնիկները կարող են ցրվել հիմքի շուրջը, այդպիսով բարելավելով թաղանթի շերտի ծածկույթը։ Իոնացված թաղանթի մասնիկները նույնպես էլեկտրական դաշտի ազդեցության տակ կտեղադրվեն բացասական լարում ունեցող հիմքի մակերեսին։ Բացասական լարում ունեցող հիմքի մակերեսին ցանկացած դիրք հնարավոր չէ ապահովել գոլորշիացման միջոցով։
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա
Հրապարակման ժամանակը. Հունվար-12-2024