A párologtatásos és a porlasztásos bevonatoláshoz képest az ionbevonatolás legfontosabb jellemzője, hogy az energetikai ionok bombázzák az aljzatot és a filmréteget a lerakódás során. A töltéssel rendelkező ionok bombázása számos hatást hoz létre, főként a következőket.
① A membrán/alap kötési erő (tapadás) erős, a filmréteg nem könnyen leesik a szubsztrát ionbombázása miatt, amelyet a porlasztási hatás generál, így a szubsztrát megtisztul, aktiválódik és felmelegszik, nemcsak a szubsztrát felületén és a szennyezett rétegen lévő gázadszorpció eltávolítására, hanem a szubsztrát felületén lévő oxidok eltávolítására is. Az ionbombázás melegítést és hibákat okozhat a szubsztrát fokozott diffúziós hatása miatt, mind a szubsztrát felületi rétegének kristályos tulajdonságainak javítása, mind az ötvözetfázisok képződésének feltételeinek biztosítása érdekében; és a nagyobb energiájú ionbombázás bizonyos mértékű ionimplantációt és ionnyaláb-keverési hatást is eredményez.
② Az ionbevonat jó megkerülő sugárzást hoz létre nagyobb nyomás (1 Pa vagy annál nagyobb) esetén, amikor az ionizált gőz ionok vagy molekulák a hordozóhoz vezető úton több ütközésnek vannak kitéve, így a filmrészecskék szétszóródhatnak a hordozó körül, ezáltal javítva a filmréteg lefedettségét; és az ionizált filmrészecskék az elektromos tér hatására negatív feszültségű hordozó felületén rakódnak le. A hordozó felületének negatív feszültségű pozíciói nem érhetők el párologtatással.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. január 12.