Konpayi DM Mattox te pwopoze kouch iyon vakyòm Ozetazini an 1963. Nan ane 1970 yo, yon nouvo teknoloji tretman sifas te devlope rapidman. Li refere a itilizasyon yon sous evaporasyon oswa yon sib pulverizasyon nan yon atmosfè vakyòm pou fè materyèl fim nan, pandan evaporasyon oswa pulverizasyon, patikil yo nan espas egzeyat gaz la vin iyonize an iyon metal.
Patikil sa yo depoze sou substra a anba aksyon yon chan elektrik pou jenere yon pwosesis fim mens.
Plizyè kalite plakaj iyon vakyòm, anjeneral selon materyèl manbràn pou pwodui sous iyon an, divize an de kalite: plakaj iyon tip sous evaporasyon ak plakaj iyon tip sib pulverizasyon. Premye a evapore lè yo chofe materyèl fim nan pou pwodui vapè metal, pou li iyonize pasyèlman an vapè metal ak atòm net ki gen anpil enèji nan espas plasma egzeyat gaz la, atravè wòl chan elektrik la pou rive nan substra a pou jenere fim mens; dezyèm lan se itilizasyon iyon ki gen anpil enèji (pa egzanp, Ar+) sou sifas materyèl fim nan pou fè pulverizasyon patikil yo soti nan espas egzeyat gaz la pou iyonize an iyon oswa atòm net ki gen anpil enèji, pou rive nan sifas substra a epi jenere fim nan.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Lè pòs la: 7 mas 2024