Konpare ak evaporasyon plake ak pulverizasyon plake, karakteristik ki pi enpòtan nan plake iyon se ke iyon enèjik yo bonbade substra a ak kouch fim nan pandan depo a ap fèt. Bonbadman iyon chaje yo pwodui yon seri efè, sitou jan sa a.
① Fòs lyezon manbràn/baz la (adezyon) fò, kouch fim nan pa fasil pou l tonbe akòz bonbadman iyon ki pwodui sou substra a pa efè pulverizasyon an. Sa fè substra a netwaye, aktive epi chofe, non sèlman pou retire adsorpsyon gaz la sou sifas substra a ak kouch kontamine a, men tou pou retire oksid sifas substra a. Bonbadman iyon an ka chofe epi domaje akòz efè difizyon amelyore substra a, tou de pou amelyore pwopriyete cristalline òganizasyon kouch sifas substra a, men tou pou bay kondisyon pou fòmasyon faz alyaj yo; epi bonbadman iyon ki gen plis enèji, men tou pou pwodui yon sèten kantite enplantasyon iyon ak efè melanj gwo bout bwa iyon.
② Kouch iyon an pwodui yon bon radyasyon kontoune nan ka presyon ki pi wo (pi gran pase oswa egal a 1Pa). Li fè iyon vapè iyonize oswa molekil yo rankontre plizyè kolizyon nan vwayaj yo pou ale nan substra a anvan yo rive nan substra a. Patikil fim yo ka gaye toupatou nan substra a, sa ki amelyore pwoteksyon kouch fim nan. Patikil fim iyonize yo ap depoze tou anba aksyon chan elektrik la sou sifas substra a ki gen vòltaj negatif. Nenpòt pozisyon sou sifas substra a ki gen vòltaj negatif pa ka reyalize ak evaporasyon.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 12 janvye 2024