Teknoloji Depozisyon Ion

① Teknoloji depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon karakterize pa yon adezyon fò ant fim nan ak substra a, sa ki fè kouch fim nan trè solid. Eksperyans yo montre ke: adezyon depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ogmante plizyè fwa rive plizyè santèn fwa pi plis pase adezyon depozisyon vapè tèmik. Rezon an se sitou akòz bonbadman iyon an ki netwaye sifas la, sa ki fè koòdone baz manbràn nan fòme yon estrikti entèfasyal gradyan, oswa yon kouch tranzisyon ibrid, epi tou diminye estrès sou manbràn nan.

② Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ka amelyore pwopriyete mekanik fim nan, pwolonje lavi fatig li, trè apwopriye pou prepare oksid, kabid, BN kib, TiB: ak kouch ki sanble ak dyaman. Pa egzanp, nan asye rezistan chalè 1Crl8Ni9Ti, lè yo itilize teknoloji depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon pou fè yon fim mens 200nm SiN grandi, sa pa sèlman ka anpeche aparisyon fant fatig sou sifas materyèl la, men tou, li ka siyifikativman diminye vitès difizyon fant fatig la, sa ki jwe yon bon wòl nan pwolonje lavi li.

③ Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ka chanje nati estrès fim nan epi chanje estrikti kristalin li. Pa egzanp, lè yo prepare yon fim Cr ak yon bonbadman Xe+ oubyen Ar+ 11.5keV sou sifas substra a, yo te jwenn ke ajisteman tanperati substra a, enèji iyon bonbadman an, rapò arive iyon ak atòm ak lòt paramèt yo ka fè estrès la soti nan estrès tansyon rive nan estrès konpresyon, sa ki lakòz chanjman tou nan estrikti kristal fim nan. Anba yon sèten rapò iyon ak atòm, depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon an gen yon pi bon oryantasyon selektif pase kouch manbràn ki depoze pa depozisyon vapè tèmik.

④ Depozisyon ak èd gwo bout bwa iyon ka amelyore rezistans manbràn lan kont korozyon ak rezistans oksidasyon. Kòm depozisyon kouch manbràn lan ak èd gwo bout bwa iyon an dans, estrikti entèfas baz manbràn lan amelyore oubyen fòmasyon yon eta amorf akòz disparisyon limit grenn ant patikil yo, sa ki fezab pou amelyorasyon rezistans korozyon ak rezistans oksidasyon materyèl la.

Amelyore rezistans materyèl la kont korozyon epi reziste efè oksidasyon tanperati ki wo.

(5) Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon ka chanje pwopriyete elektwomayetik fim nan epi amelyore pèfòmans fim optik mens yo. (6) Depozisyon ak asistans iyon pèmèt kwasans divès kalite fim mens nan tanperati ki ba epi evite efè negatif sou materyèl oswa pyès presizyon ki ta ka koze pa tretman nan tanperati ki wo, piske paramèt ki gen rapò ak depozisyon atomik ak enplantasyon iyon yo ka ajiste avèk presizyon ak endepandamman, epi kouch kèk mikwomèt ak konpozisyon ki konsistan yo ka pwodui kontinyèlman nan enèji bonbadman ki ba.