Vakuumsko ionsko premazivanje (naziva se ionsko galvaniziranje) predložila je tvrtka DM Mattox iz Sjedinjenih Država 1963. godine, a 1970-ih godina došlo je do brzog razvoja nove tehnologije površinske obrade. To se odnosi na korištenje izvora isparavanja ili mete raspršivanja u vakuumskoj atmosferi tako da se materijal filma isparava ili raspršuje, a dio čestica isparavanjem ili raspršivanjem u prostoru plinskog pražnjenja ionizira se u metalne ione.
Ove čestice se talože na podlogu pod djelovanjem električnog polja kako bi se stvorio proces tankog filma.
Vakuumsko ionsko prevlačenje postoji u mnogim vrstama, obično prema materijalu membrane za proizvodnju ionskog izvora, a obično se dijeli na dvije vrste: ionsko prevlačenje isparavanjem izvora i ionsko prevlačenje raspršivanjem mete. Prvo se odvija isparavanjem zagrijavanjem filmskog materijala kako bi se stvorile metalne pare, tako da se djelomično ionizira u metalne pare i visokoenergetske neutralne atome u prostoru plazme plinskog pražnjenja, pod utjecajem električnog polja dopiru do podloge i stvaraju tanki filmovi; drugo se odnosi na korištenje visokoenergetskih iona (npr. Ar+) na površini filmskog materijala kako bi se čestice raspršile kroz prostor plinskog pražnjenja, ionizirane u ione ili visokoenergetske neutralne atome, dopiru do površine podloge i stvaraju film.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 07.03.2024.