① Tehnologija taloženja uz pomoć ionskog snopa karakterizira se jakom adhezijom između filma i podloge, pri čemu je sloj filma vrlo čvrst. Eksperimenti su pokazali da se adhezija kod taloženja uz pomoć ionskog snopa povećava nekoliko puta, pa čak i stotinama puta, u odnosu na termičko taloženje parom. Razlog tome je uglavnom bombardiranje ionima koje djeluje na površinu i djeluje kao čišćenje. Na taj način baza membrane formira gradijentnu strukturu na granici faza ili hibridni prijelazni sloj, što smanjuje naprezanje membrane.
② Taloženje uz pomoć ionskog snopa može poboljšati mehanička svojstva filma, produžiti vijek trajanja od zamora, vrlo je pogodno za pripremu oksida, karbida, kubnog BN, TiB: i dijamantnih prevlaka. Na primjer, kod toplinski otpornog čelika 1Crl8Ni9Ti, korištenje tehnologije taloženja uz pomoć ionskog snopa za uzgoj tankog filma SiN od 200 nm ne samo da može spriječiti pojavu pukotina od zamora na površini materijala, već i značajno smanjiti brzinu difuzije pukotina od zamora, što ima važnu ulogu u produljenju vijeka trajanja.
③ Taloženje uz pomoć ionskog snopa može promijeniti prirodu naprezanja filma i njegovu kristalnu strukturu. Na primjer, prilikom pripreme Cr filma bombardiranjem površine podloge Xe+ ili Ar+ od 11,5 keV, utvrđeno je da podešavanje temperature podloge, energije bombardiranja iona, omjera dolaska iona i atoma te drugih parametara može promijeniti naprezanje od vlačnog do tlačnog, što će također uzrokovati promjene u kristalnoj strukturi filma. Pod određenim omjerom iona i atoma, taloženje uz pomoć ionskog snopa ima bolju selektivnu orijentaciju od membranskog sloja taloženog termičkim taloženjem iz pare.
④ Taloženje uz pomoć ionskog snopa može poboljšati otpornost membrane na koroziju i oksidaciju. Budući da je sloj membrane taložen uz pomoć ionskog snopa gust, nestanak granica zrna između čestica poboljšava strukturu membranske baze ili stvara amorfno stanje, što pogoduje povećanju otpornosti materijala na koroziju i oksidaciju.
Poboljšajte otpornost materijala na koroziju i oduprite se oksidacijskom učinku visoke temperature.
(5) Taloženje uz pomoć ionskog snopa može promijeniti elektromagnetska svojstva filma i poboljšati performanse optičkih tankih filmova. (6) Taloženje uz pomoć iona omogućuje rast različitih tankih filmova na niskim temperaturama i izbjegava štetne učinke na materijale ili precizne dijelove koji bi bili uzrokovani obradom na visokim temperaturama, budući da se parametri povezani s atomskim taloženjem i implantacijom iona mogu točno i neovisno podesiti, a premazi od nekoliko mikrometara s konzistentnim sastavom mogu se kontinuirano generirati pri niskim energijama bombardiranja.
Vrijeme objave: 07.03.2024.