वैक्यूम आयन कोटिंग

वैक्यूम आयन कोटिंग (जिसे आयन प्लेटिंग के रूप में संदर्भित किया जाता है) 1963 में संयुक्त राज्य अमेरिका की सोमडिया कंपनी डीएम मैटॉक्स द्वारा प्रस्तावित है, 1970 के दशक में एक नई सतह उपचार तकनीक का तेजी से विकास हुआ है। यह वैक्यूम वातावरण में वाष्पीकरण स्रोत या स्पटरिंग लक्ष्य के उपयोग को संदर्भित करता है ताकि फिल्म सामग्री वाष्पीकरण या स्पटरिंग, वाष्पीकरण या गैस डिस्चार्ज स्पेस में कणों के एक हिस्से से बाहर निकलकर धातु आयनों में आयनित हो।

ये कण विद्युत क्षेत्र की क्रिया के तहत सब्सट्रेट पर जमा होकर एक पतली फिल्म प्रक्रिया उत्पन्न करते हैं।

वैक्यूम आयन प्लेटिंग के कई प्रकार होते हैं, जिन्हें आम तौर पर आयन स्रोत के उत्पादन के लिए झिल्ली सामग्री के अनुसार दो प्रकारों में विभाजित किया जाता है: वाष्पीकरण स्रोत प्रकार आयन प्लेटिंग और स्पटरिंग लक्ष्य प्रकार आयन प्लेटिंग। पूर्व में धातु वाष्प उत्पन्न करने के लिए फिल्म सामग्री को गर्म करके वाष्पित किया जाता है, ताकि यह आंशिक रूप से धातु वाष्प और गैस डिस्चार्ज प्लाज्मा के स्थान में उच्च ऊर्जा वाले तटस्थ परमाणुओं में आयनित हो जाए, विद्युत क्षेत्र की भूमिका के माध्यम से सब्सट्रेट तक पहुंचकर पतली फिल्में उत्पन्न करें; उत्तरार्द्ध में फिल्म सामग्री की सतह पर उच्च ऊर्जा वाले आयनों (जैसे, Ar +) का उपयोग करके बमबारी की जाती है ताकि गैस डिस्चार्ज के स्थान के माध्यम से कणों को आयनों या उच्च ऊर्जा वाले तटस्थ परमाणुओं में आयनित किया जा सके

-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ