વેક્યુમ આયન કોટિંગ

વેક્યુમ આયન કોટિંગ (જેને આયન પ્લેટિંગ તરીકે ઓળખવામાં આવે છે) એ યુનાઇટેડ સ્ટેટ્સ દ્વારા 1963 માં સોમડિયા કંપની ડીએમ મેટોક્સ દ્વારા પ્રસ્તાવિત કરવામાં આવ્યું હતું, 1970 ના દાયકામાં નવી સપાટી સારવાર તકનીકનો ઝડપી વિકાસ થયો છે. તે વેક્યુમ વાતાવરણમાં બાષ્પીભવન સ્ત્રોત અથવા સ્પટરિંગ લક્ષ્યના ઉપયોગનો ઉલ્લેખ કરે છે જેથી ફિલ્મ સામગ્રીનું બાષ્પીભવન અથવા સ્પટરિંગ, બાષ્પીભવન અથવા સ્પટરિંગ ગેસ ડિસ્ચાર્જ જગ્યામાં કણોના એક ભાગમાંથી મેટલ આયનોમાં આયનીકરણ થાય.

આ કણો ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રની ક્રિયા હેઠળ સબસ્ટ્રેટ પર જમા થાય છે જેથી પાતળી ફિલ્મ પ્રક્રિયા ઉત્પન્ન થાય.

આયન સ્ત્રોત ઉત્પન્ન કરવા માટે પટલ સામગ્રી અનુસાર, સામાન્ય રીતે ઘણા પ્રકારના વેક્યુમ આયન પ્લેટિંગને બે પ્રકારમાં વિભાજિત કરવામાં આવશે: બાષ્પીભવન સ્ત્રોત પ્રકાર આયન પ્લેટિંગ અને સ્પટરિંગ લક્ષ્ય પ્રકાર આયન પ્લેટિંગ. પહેલાનું બાષ્પીભવન ફિલ્મ સામગ્રીને ગરમ કરીને ધાતુની વરાળ ઉત્પન્ન કરીને કરવામાં આવે છે, જેથી તે આંશિક રીતે ધાતુની વરાળ અને ગેસ ડિસ્ચાર્જ પ્લાઝ્માની જગ્યામાં ઉચ્ચ-ઊર્જા તટસ્થ અણુઓમાં આયનીકરણ થાય છે, ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રની ભૂમિકા દ્વારા પાતળા ફિલ્મો ઉત્પન્ન કરવા માટે સબસ્ટ્રેટ સુધી પહોંચવું; બાદમાં ફિલ્મ સામગ્રી બોમ્બાર્ડમેન્ટની સપાટી પર ઉચ્ચ-ઊર્જા આયનો (દા.ત., Ar +) નો ઉપયોગ કરીને ગેસ ડિસ્ચાર્જની જગ્યા દ્વારા કણોમાંથી સ્પટરિંગને આયન અથવા ઉચ્ચ-ઊર્જા તટસ્થ અણુઓમાં આયનીકરણ કરવામાં આવે છે, જેથી સબસ્ટ્રેટની સપાટી સુધી પહોંચે અને ફિલ્મ ઉત્પન્ન થાય.

- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ