બાષ્પીભવન પ્લેટિંગ અને સ્પુટરિંગ પ્લેટિંગની તુલનામાં, આયન પ્લેટિંગની સૌથી મહત્વપૂર્ણ વિશેષતા એ છે કે જ્યારે ડિપોઝિશન થાય છે ત્યારે ઊર્જાસભર આયનો સબસ્ટ્રેટ અને ફિલ્મ સ્તર પર બોમ્બમારો કરે છે. ચાર્જ્ડ આયનોનો બોમ્બમારો શ્રેણીબદ્ધ અસરો ઉત્પન્ન કરે છે, મુખ્યત્વે નીચે મુજબ.
① પટલ / આધાર બંધન બળ (સંલગ્નતા) મજબૂત, સ્પટરિંગ અસર દ્વારા ઉત્પન્ન થતા સબસ્ટ્રેટના આયન બોમ્બાર્ડમેન્ટને કારણે ફિલ્મ સ્તર પડવું સરળ નથી, જેથી સબસ્ટ્રેટ સાફ, સક્રિય અને ગરમ થાય, માત્ર સબસ્ટ્રેટની સપાટી પરના ગેસના શોષણ અને દૂષિત સ્તરને દૂર કરવા માટે જ નહીં, પણ સબસ્ટ્રેટ ઓક્સાઇડની સપાટીને પણ દૂર કરવા માટે. ગરમી અને ખામીઓનો આયન બોમ્બાર્ડમેન્ટ સબસ્ટ્રેટના ઉન્નત પ્રસરણ અસરને કારણે થઈ શકે છે, જે સબસ્ટ્રેટ સપાટી સ્તર સંગઠનના સ્ફટિકીય ગુણધર્મોને સુધારવા માટે બંને માટે છે, પરંતુ એલોય તબક્કાઓની રચના માટે શરતો પણ પૂરી પાડે છે; અને ઉચ્ચ ઉર્જા આયન બોમ્બાર્ડમેન્ટ, પરંતુ ચોક્કસ માત્રામાં આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન અને આયન બીમ મિશ્રણ અસર પણ ઉત્પન્ન કરે છે.
② ઉચ્ચ દબાણ (1Pa કરતા વધારે અથવા તેના બરાબર) ના કિસ્સામાં સારા બાયપાસિંગ રેડિયેશન ઉત્પન્ન કરવાને કારણે આયન કોટિંગ ગેસના અણુઓ સાથે સંખ્યાબંધ અથડામણોનો સામનો કરે તે પહેલાં સબસ્ટ્રેટ તરફ તેની મુસાફરીમાં આયનાઇઝ્ડ વરાળ આયનો અથવા અણુઓ હોય છે, જેથી ફિલ્મ કણો સબસ્ટ્રેટની આસપાસ વિખેરાઈ શકે, આમ ફિલ્મ સ્તરનું કવરેજ સુધારે; અને આયનાઇઝ્ડ ફિલ્મ કણો પણ નકારાત્મક વોલ્ટેજવાળા સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રની ક્રિયા હેઠળ જમા થશે. નકારાત્મક વોલ્ટેજવાળા સબસ્ટ્રેટની સપાટી પરની કોઈપણ સ્થિતિ, જે બાષ્પીભવન પ્લેટિંગ દ્વારા પ્રાપ્ત કરી શકાતી નથી.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: જાન્યુઆરી-૧૨-૨૦૨૪