’S e còmhdach ian falamh (ris an canar platadh ian) a chaidh a mholadh leis a’ chompanaidh Somdia DM Mattox sna Stàitean Aonaichte ann an 1963, agus anns na 1970an, tha teicneòlas làimhseachaidh uachdar ùr air a bhith ann le leasachadh luath. Tha e a’ toirt iomradh air cleachdadh stòr falmhachaidh no targaid sputtering ann an àile falamh gus am bi pàirt de na mìrean anns an àite sgaoilidh gas a’ falmhachadh no a’ sputtering a-mach às an stuth film air an ianachadh gu bhith nan ianan meatailt.
Tha na mìrean seo air an tasgadh air an t-substrate fo ghnìomhachd raon dealain gus pròiseas film tana a chruthachadh.
Tha iomadh seòrsa platadh ian falamh ann, mar as trice a rèir an stuth membran a thathar a’ cleachdadh airson an stòr ian a dhèanamh, air a roinn ann an dà sheòrsa: seòrsa stòr falmhachaidh platadh ian agus seòrsa targaid sputtering plating ian. Anns a’ chiad sheòrsa, bidh an stuth film air a ghalachadh le bhith a’ teasachadh an stuth gus ceò meatailt a thoirt gu buil, agus mar sin bidh e air a ionachadh gu ìre gu ceò meatailt agus dadaman neodrach àrd-lùtha ann am plasma sgaoilidh a’ ghasa, agus bidh e a’ ruighinn an t-substrate tro dhreuchd an achaidh dealain gus filmichean tana a chruthachadh; anns an dàrna seòrsa, bidh ianan àrd-lùtha (me, Ar+) air an bualadh air uachdar an stuth film gus mìrean sputtering adhbhrachadh, agus bidh iad air an ionachadh no air dadaman neodrach àrd-lùtha tron àite sgaoilidh gas, gus uachdar an t-substrate a ruighinn agus am film a chruthachadh.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 7 Màrt 2024