An coimeas ri platadh falmhachaidh agus platadh sputtering, is e am feart as cudromaiche de phlatadh ian gu bheil na h-ianan lùthmhor a’ bomadh an t-substrate agus an sreath film fhad ‘s a tha an tasgadh a’ tachairt. Bidh bomadh nan ian luchdaichte a’ toirt a-mach sreath de bhuaidhean, gu sònraichte mar a leanas.
① Tha neart ceangail (greamachadh) làidir eadar an membran agus am bonn, agus chan eil an còmhdach film furasta tuiteam dheth air sgàth buaidh spùtadh nan ian air an t-substrate. Mar sin, tha an t-substrate air a ghlanadh, air a ghnìomhachadh agus air a theasachadh. Chan e a-mhàin gu bheil gas air a ghabhail a-mach às an t-substrate agus an còmhdach truaillte air a thoirt air falbh, ach cuideachd tha ocsaidean an t-substrate air an toirt air falbh. Faodaidh buaidh sgaoilidh nas fheàrr an t-substrate tachairt le bhith a’ teasachadh agus a’ cur às do lochdan mar thoradh air buaidh sgaoilidh nas fheàrr an t-substrate. Bidh e a’ leasachadh feartan criostalach eagrachadh còmhdach uachdar an t-substrate, agus cuideachd a’ toirt seachad na cumhaichean airson ìrean aloidh a chruthachadh; agus bidh spùtadh ian le lùth nas àirde a’ toirt a-mach ìre àraid de dh’ion-chur ian agus buaidh measgachadh beam ian.
② Bidh còmhdach ian a’ toirt a-mach rèididheachd seach-rathaid mhath fo chuideam nas àirde (nas motha na no co-ionann ri 1Pa). Is e ianan no moileciuilean ceò ianaichte no moileciuilean a bhios a’ bualadh air an t-substrate mus coinnich na moileciuilean gas ri grunn thubaistean, agus mar sin faodar na mìrean film a sgapadh timcheall an t-substrate, agus mar sin a’ leasachadh còmhdach sreath an fhilm; agus thèid na mìrean film ianaichte a thasgadh cuideachd fo ghnìomhachd an achaidh dealain air uachdar an t-substrate le bholtaids àicheil. Chan urrainnear seo a choileanadh le platadh falmhachaidh fo bhuaidh gnìomh an achaidh dealain.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 12 Faoilleach 2024