Is sciath ian folúis (dá ngairtear plátáil ian) é sciath ian folúis a mhol DM Mattox, comhlacht Somdia sna Stáit Aontaithe i 1963, agus forbraíodh teicneolaíocht nua cóireála dromchla go mear sna 1970idí. Tagraíonn sé d'úsáid foinse galúcháin nó sprioc spútarála in atmaisféar folúis ionas go ngalaíonn nó go spútarálann an t-ábhar scannáin, agus go n-ianaítear cuid de na cáithníní sa spás urscaoilte gáis ina n-ian miotail.
Déantar na cáithníní seo a thaisceadh ar an tsubstráit faoi ghníomhaíocht réimse leictreach chun próiseas scannáin tanaí a ghiniúint.
Is féidir cineálacha éagsúla plátála ian folúis a roinnt, de ghnáth de réir an ábhair scannáin a úsáidtear chun an fhoinse ian a tháirgeadh: plátáil ian de chineál foinse galúcháin agus plátáil ian de chineál sprice spútarála. Déantar galú trí ábhar an scannáin a théamh chun gal miotail a tháirgeadh, rud a fhágann go ndéantar gaile miotail agus adaimh neodracha ardfhuinnimh a ianú go páirteach i spás an phlasma urscaoilte gáis, agus trí ról an réimse leictrigh chun an tsubstráit a bhaint amach chun scannáin tanaí a ghiniúint; is é an dara ceann ná iain ardfhuinnimh (m.sh., Ar+) a úsáid ar dhromchla an ábhair scannáin chun na cáithníní a spútaráil amach tríd an spás urscaoilte gáis, agus iad ianaithe ina n-iain nó ina n-adaimh neodracha ardfhuinnimh, chun dromchla an tsubstráit a bhaint amach agus an scannán a ghiniúint.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 7 Márta 2024